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金融界2024年10月31日消息，国家知识产权局信息显示，常州鹏晟智能科技有限公司申请一项名为“一种基于涡流管冷却低温高压测试装置及其测试方法”的专利，公开号 CN 118837708 A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体测试装置技术领域，尤其是涉及一种基于涡流管冷却低温高压测试装置及其测试方法，包括下端盖及可拆卸安装在下端盖上的上端盖，所述下端盖和上端盖之间设置有用于放置检测晶圆且密闭的检测腔，所述检测腔内设置有用于检测晶圆的探针，还包括设置在上端盖外的压缩机、第一储气室、第一涡流管制冷器和第二涡流管制冷器所述上端盖上设置有与检测腔连通的第一阀门，使用时，通过第一涡流管制冷器和第二涡流管制冷器将气体多次循环，实现对气体进行循环利用并产生至所需温度及压力的气体，将冷却气体输送至检测腔内，以满足不同芯片检测所需，使得检测更加规范化、精细化，提高了将气体降温的效率，进一步减少维修费用和浪费。
本文源自：金融界
作者：情报员
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