金融界2024年10月30日消息,国家知识产权局信息显示,江西圆融光电科技有限公司取得一项名为“一种载片装置”的专利,授权公告号 CN 221885068 U,申请日期为 2023年12月。
专利摘要显示,本实用新型公开了一种载片装置,属于半导体加工技术领域,包括框形支架主体,所述框形支架主体内侧设有成对且对称设置的承载横杆,所述承载横杆上设有用于供晶圆放置的限位阶梯槽,所述限位阶梯槽沿承载横杆长度方向等间距排布,所述限位阶梯槽包括第一台阶和位于第一台阶一侧的第二台阶,所述第一台阶的高度小于第二台阶的高度。本实用新型可避免对晶圆正面的碰触,从而能够避免对晶圆正面的刮伤污染,提高了发光二极管良率。
本文源自:金融界
作者:情报员
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