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金融界2024年10月30日消息，国家知识产权局信息显示，浙江丽晖智能装备有限公司取得一项名为“晶圆承载装置和晶圆加工设备”的专利，授权公告号 CN 221885070 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型涉及晶圆生产制造技术领域，提供一种晶圆承载装置和晶圆加工设备，该晶圆承载装置包括：下承载器、上承载器以及固定锁螺栓，下承载器的端面上形成有沿轴向方向凸出延伸的载台，以用于放置晶圆；上承载器设置于下承载器的形成有载台的一侧，并在与载台对应的位置开设有晶圆孔，且上承载器上形成有固定锁螺孔；固定锁螺栓包括固定于下承载器的端面上的固定螺杆和与固定螺杆转动连接的头部；其中，固定锁螺栓能够穿过固定锁螺孔，并通过转动头部而限定上承载器与下承载器的轴向相对位置。通过上述技术方案，固定锁螺栓通过固定螺杆固定于下承载器上，无需单独拿取并安装紧固部件，简化了晶圆承载装置的安装工序，提高了安装工作的效率。
本文源自：金融界
作者：情报员
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