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金融界 2024 年 10 月 30 日消息，国家知识产权局信息显示，上海普达特半导体设备有限公司申请一项名为“一种半导体工艺装置”的专利，公开号 CN 118831877 A，申请日期为 2024 年 9 月。
专利摘要显示，本发明提供一种半导体工艺装置，喷液管分别与第一球关节结构、第二球关节结构销轴连接，使喷液管出液口位置可调节；运动轴固定于固定框架下；旋转驱动结构的旋转定子部和旋转动子部可旋转连接，运动轴与旋转动子部固定连接；升降驱动结构的升降定子部与升降动子部可升降滑动连接，旋转定子部与升降动子部固定连接。本发明中的球关节结构使喷液管位置手动调节后固定，使用场景灵活，提高喷液精度，降低更换成本；同时升降螺钉控制球关节的高度调节喷液管，提高喷液管位置调节精度；另外可变形的连通管使喷液管可伸缩，提高喷液管位置调节自由度；最后升降驱动结构和旋转驱动结构扩大喷液管位置调节量程，提高使用灵活性。
本文源自：金融界
作者：情报员
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