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金融界2024年10月25日消息，国家知识产权局信息显示，宸微设备科技（苏州）有限公司取得一项名为“晶圆传输腔室及半导体加工设备”的专利，授权公告号CN 221861596 U，申请日期为2024年1月。
专利摘要显示，本实用新型提供了一种晶圆传输腔室及半导体加工设备，包括腔体；以及设置于所述腔体上的降温装置，所述降温装置用于降低所述腔体内的温度。本实用新型提供的晶圆传输腔室，可降低腔体的温度，避免高温影响晶圆传输腔室内设置的机械手的使用寿命保证了工艺的进程。
本文源自：金融界
作者：情报员
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