高端产品新增付运量显著提升 中微公司上半年营收增36%

证券时报记者 王一鸣

8月22日晚间，中微公司(688012)发布2024年半年度报告。

半年报显示，2024年上半年公司营业收入为34.48亿元，同比增长36.46%。公司的等离子体刻蚀设备在国内外持续获得更多客户的认可，针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，CCP和ICP刻蚀设备的销量增长和在国内主要客户芯片生产线上市占率均大幅提升。刻蚀设备收入为26.98亿元，同比增长约56.68%，刻蚀设备占营业收入的比重由上年同期的68.16%提升至本期的78.26%。

上半年，公司的另一重要产品MOCVD设备收入1.52亿元，同比减少约49.04%，主要因为公司在蓝绿光LED生产线和Mini-LED产业化中保持绝对领先的地位，该终端市场近两年处于下降趋势。公司紧跟MOCVD市场发展机遇，积极布局用于碳化硅和氮化钾基功率器件应用的市场，并在Micro-LED和其他显示领域的专用MOCVD设备开发上取得良好进展，已付运和将付运几种MOCVD新产品进入市场。此外，公司新产品LPCVD设备实现首台销售，收入0.28亿元。

订单方面，2024年上半年公司新增订单47.0亿元，同比增长约40.3%。其中刻蚀设备新增订单39.4亿元，同比增速约50.7%；LPCVD上半年新增订单1.68亿元，新产品开始放量。

上半年公司实现归属于上市公司股东的净利润为5.17亿元，同比减少约48.48%，主要系2023年公司出售了持有的部分拓荆科技股票，产生税后净收益约4.06亿元，而2024年公司并无该项股权处置收益；以及公司上半年主要由于研发总投入增长，扣非后归母净利润较上年同期减少0.36亿元。

公司目前在研项目涵盖六类设备，20多个新设备的开发，2024年上半年公司研发投入9.70亿元，较上年同期的4.60亿元增加约5.10亿元，同比大幅增长110.84%，研发投入总额占营业收入比例为28.15%。

产品研发及客户拓展方面，公司CCP刻蚀设备中双反应台中Primo D-RIE、Primo AD-RIE、Primo AD-RIE-e新增付运量保持高速增长，2024年上半年付运量超过2023年全年付运量。截至2024年6月，公司累计生产付运超过3600个CCP刻蚀反应台，2024年上半年新增付运设备数量创历史新高。报告期内，公司的ICP刻蚀设备在涵盖逻辑、DRAM、3D NAND、功率和电源管理、以及微电机系统等芯片和器件的60多条客户的生产线上量产，并持续进行更多刻蚀应用的验证。

2024年上半年公司共生产专用设备833腔，同比增长约420%，对应产值约68.65亿元，同比增长约402%，为年度出货及确认收入打下了较好的基础。

据介绍，中微的主打产品等离子体刻蚀设备是除光刻机以外最关键的微观加工设备，是制程步骤最多、工艺过程开发难度最高的设备，占半导体前道设备总市场约22%。公司布局的薄膜设备（主要是化学薄膜和外延设备）是除光刻机和刻蚀机外第三大设备市场。此外，中微公司全面布局第四大设备市场——检测设备。

展望未来，中微公司表示，公司将整合产业链上下游和相关资源作为另一发力点，积极考虑投资和并购，推动公司更快发展。预计未来五到十年，中微公司将通过自主研发以及携手行业合作伙伴，覆盖集成电路关键领域50%至60%的设备。