聚焦徐州丨徐州邳州：“链”上发力 打造半导体材料与设备产业高地

半导体材料与设备产业是徐州邳州市六大主导产业之一。在2024年度省级中小企业特色产业集群名单中，邳州市半导体材料与设备产业集群成功入围，成为徐州唯一入围的集群。近年来，邳州市加快提升产业发展能级，深入推动龙头项目带动、企业集聚发展、科技创新引领，利用产业细分领域的集聚优势，不断完善半导体材料与设备产业发展体系。

龙头带动 激发动能

龙头兴，则产业旺。在产业发展进程中，龙头项目是产业迭代升级的“驱动器”、开辟产业新赛道的“金钥匙”。

图源：邳州发布

自2007年在上海成立管理总部、2010年在邳州落户生产基地以来，徐州博康信息化学品有限公司从基础化学研究出发，一步步攻克精细化学品领域，特别是半导体光刻胶单体方面的技术难关，逐渐成长为国内唯一拥有“单体—树脂、光酸—光刻胶”这一完整产业链的光刻胶供应商。

据悉，该公司在光刻胶材料领域已经全面实现了技术攻关，如金属离子的含量控制，从原先的100ppb目前可降至1ppb以下，纯度也有了数量级的提升。

如今，徐州博康已成功开发从90纳米节点到28纳米节点及以下的各类中高端光刻胶100多种，拥有中国目前产品最齐全、技术水平最高，从原料到成品全产业链自主可控的光刻胶材料研发制造基地，实现了半导体光刻胶的自主研发和生产，大大提升了我国半导体产业链的完整性。

图源：邳州发布

目前，邳州拥有半导体企业59家。其中，规上企业32家。搭建了光刻材料研发中心、半导体材料科创中心、半导体产业研究院等28家省级以上研发机构。全市4家企业获批国家级“专精特新”小巨人企业，6家企业获批省级“专精特新”中小企业，3家企业入选潜在独角兽企业，2家企业入选瞪羚企业。影速、上达、鲁汶等企业创造了多项“国内唯一”。

“雁阵”齐飞 集聚发展

半导体材料和设备产业作为邳州经济开发区的主导产业之一，历经近十年的发展，在汇聚了上达电子、华兴激光、影速光电等一批高新企业并逐步形成产业集群后，特西氪的加入将会给邳州半导体材料和设备产业注入新活力，让整个链条密度更强、底子更实。

以位于邳州经开区的江苏华兴激光科技有限公司为例，该公司是专业从事化合物半导体光电外延片研发、生产与加工服务的国家级高新技术企业，外延片的生产填补了国内市场空白。目前已获得100多项国家发明专利，相关产品打破了国外技术垄断。

图源：徐州日报

在华兴激光的展室里，列举了邳州半导体和材料电子产业园对企业形成支撑的“产业生态”，包括做ICP的鲁汶仪器、做加热的实为半导体、做电子束光刻胶的徐州博康、做光敏剂的久日新材、做溅射靶材的迪丞靶材、做磷化铟做衬底的利泷半导体等。

由“点”到“链”，由“链”到“面”，邳州半导体材料和设备产业发展环环相扣，以邳州经开区为例，该区大力发展专业化细分领域竞争力强的特色产业链，加快形成五大产业基地——以博康为龙头，集聚科利、大晶新材料等企业，打造光刻材料基地；以华兴为龙头，集聚利泷、瑞源等项目，打造光电材料外延基地；以上达为龙头，集聚众星、澳芯、迪丞、绿人等项目，打造显示材料生产基地；以影速为龙头，集聚鲁汶、实为、科沛达等企业，打造生产测试设备基地；集聚光莆、源康等项目，打造柔性线路板生产基地，使半导体材料和设备产业成为邳州产业发展的“芯”高地。

创新驱动 科技助力

创新是引领发展的第一动力。对于半导体产业来说，技术创新更是其一直以来的核心竞争力和发展驱动力。

作为一家以科技创新为主导的高科技半导体装备企业，江苏鲁汶仪器股份有限公司自落户邳州以来，致力于为集成电路制造生产线提供特种金属膜层的刻蚀装备和工艺解决方案。依托企业专家团队和苏北地区首家“诺贝尔奖得主工作室”，企业在多年发展中不断优化升级，取得质效和科创新突破。据悉，该公司现有三款基于离子束技术的产品，分别是离子束塑形、离子束修形、离子束镀膜，在国内具有一定领先地位。

图源：邳州发布

对于企业发展来说，人才是科技创新的主要驱动力，是实现高质量发展的重要支撑。在鲁汶仪器430余名员工中，有一半以上员工从事研发，这其中逾百位是硕士和博士以上学历。目前，企业已提交专利近600项，获得授权的专利超200项。高新技术人才的加持，为企业蓬勃发展注入了源源不断的动力。

此外，邳州市出台产业利好政策：制定半导体产业链主企业十条扶持政策，对来邳创新创业高层次人才给予资金扶持；加快打造东湖创新生态区，建设专家公寓、科创中心等设施，为人才提供全方位的服务；探索反向飞地建设，实现生产在邳州、研发在前线，通过借势借地借人才，打造一条“孵化-加速-研发-中试-产业化”的科技创新链条……这些都成为邳州发展半导体产业最优质的资源和最大的底气。

文/汤心慈

资料来源：江苏新闻、徐州日报、荔枝网、邳州发布