华海清科与清华大学产学研合作11年 坚持核心技术自主创新研发投入占比超12%

长江商报消息●长江商报记者 徐佳

2023年度国家科学技术奖揭晓，科创板上市公司华海清科（688120.SH）榜上有名。

日前，华海清科披露，公司和清华大学共同完成的 “集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖。

长江商报记者注意到，作为一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备供应商，华海清科原本受清华大学控制，当前实控人为四川省国资委。自成立以来，华海清科就与清华大学在化学机械抛光（CMP）领域开展了深入的产学研合作，迄今已有11年时间。

2022年6月，华海清科在科创板上市。2023年，华海清科实现营业收入25.08亿元、净利润7.24亿元，连续四年增长。

一直以来，华海清科坚持核心技术自主创新，不断加大研发投入力度。2021年至2023年，公司研发费用1.19亿元、2.17亿元、3.04亿元，占营业收入的比例分别为14.82%、13.14%、12.12%。

获国家技术发明奖一等奖

当日晚间，科创板上市公司华海清科就发布公告，公司和清华大学共同完成的 “集成电路化学机械抛光关键技术与装备”项目荣获2023年度国家技术发明奖一等奖，公司董事长、首席科学家路新春作为项目第一完成人获得2023年度国家技术发明奖一等奖证书。

据华海清科介绍，化学机械抛光（CMP）是先进集成电路制造前道工序、先进封装等环节必需的关键制程工艺，公司以清华大学科技成果转化的CMP技术成果为基础，进行CMP装备产业化应用的核心技术研发，率先推出国内首台拥有自主知识产权12英寸CMP装备，实现了国内市场CMP装备领域的国产替代。公司持续加大自主研发力度，推出多款CMP商业化机型，并依托稳定的性能和良好的售后服务优势，批量进入行业知名芯片制造企业，国内市场占有率达到较高水平。

长江商报记者注意到，清华大学原本为华海清科的实际控制人。随着清华大学实施校企改革，2022年7月，华海清科的实控人变更为四川省国资委。

不过，自2013年成立以来，华海清科就与清华大学在CMP领域开展了深入的产学研合作，主要由公司负责项目应用和产业化开发，清华大学负责为研发项目涉及的基础机理进行实验室研究，二者合作已有11年时间。

而华海清科的董事长、首席科学家路新春也曾在清华大学任教多年。资料显示，1994年4月至1996年3月，路新春任清华大学精密仪器与机械学系博士后、讲师；1996年4月至2012年12月历任清华大学 精密仪器与机械学系副教授、教授；2013年1月至今任清华大学机械工程系教授、首席研究员（2020年9月办理离岗创业）；2014年7月至2020年10月兼任清华大学天津高端装备研究院副院长。

除路新春外，华海清科董事赵燕来、张国铭、徐春欣、王永庆、监事会主席周艳华以及总经理助理、技术总监、副总经理赵德文均毕业于清华大学。

2023年研发投入超3亿占比12.12%

资料显示，华海清科是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商，主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务，主要产品为化学机械抛光（CMP）设备。

长江商报记者注意到，在IPO之前，华海清科的核心研发团队先后承担、联合承担了两项“国家科技重大专项（02专项）”及三项国家级重大项目/课题，针对纳米级抛光、纳米颗粒超洁净清洗、纳米精度膜厚在线检测、大数据分析及智能化控制等CMP设备核心关键技术取得了有效突破和系统布局，打破了国外巨头的技术垄断，真正实现了国内市场CMP设备领域的国产替代。

据华海清科介绍，作为拥有自主知识产权的国内12英寸CMP设备厂商，公司凭借自身的技术与产品实力在国内CMP设备领域的市占率稳步提升，已基本覆盖国内12英寸先进集成电路大生产线，处于国内领先地位。

2022年6月，华海清科在科创板上市，其经营业绩一直保持稳定增长态势。同花顺数据显示，2020年至2023年，华海清科分别实现营业收入3.86亿元、8.05亿元、16.49亿元、25.08亿元，同比增长82.95%、108.58%、104.86%、52.11%；净利润9778.77万元、1.98亿元、5.02亿元、7.24亿元，同比增长163.42%、102.76%、152.98%、44.29%；扣非净利润1461.46万元、1.14亿元、3.8亿元、6.08亿元，同比增长130.62%、679.88%、233.36%、60.05%。

今年第一季度，华海清科则实现营业收入6.8亿元，同比增长10.4%；净利润和扣非净利润分别为2.02亿元、1.72亿元，同比增长4.27%、2.78%。

作为集成电路行业上市公司，华海清科一直坚持核心技术自主创新，不断加大研发投入力度。2021年至2023年，公司研发投入金额1.19亿元、2.17亿元、3.04亿元，占营业收入的比例分别为14.82%、13.14%、12.12%。

今年第一季度，华海清科的研发投入金额为8044.04万元，同比增长24.26%，占营业收入的比例为11.83%，同比增加1.32个百分点。

目前，华海清科已建立了全面覆盖CMP、减薄、划切、清洗、膜厚测量等核心技术的知识产权保护体系，核心技术已形成高强度专利组合和技术屏障，截至2023年末，公司拥有国内外授权专利368项，其中发明专利186项、实用新型专利182项，拥有软件著作权26项。