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荷兰吊销ASML光刻机出口中国许可,对我半导体产业有何影响?

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内容提要:

该来的终究会来,新年第二天,荷兰政府吊销了ASML向中国出口部分芯片制造设备的许可。早在2023年初,美、荷、日三个光刻机产业链最重要的三个国家,就达成了对部分国家禁售中高端光刻机的协议。跟随美国对我禁售光刻机,荷兰不怕搬起石头砸自己的脚吗?禁止部分ASML中高端光刻设备对华销售,对中国芯片产业有什么影响?

一、该来的终究会来,新年第二天,荷兰政府吊销了ASML向中国出口部分芯片制造设备的许可。

10月2日,新年第二天,法新社消息称,全球微处理器制造巨头、荷兰半导体巨头阿斯麦ASML发布公告称,在美国对这一战略行业施加压力的情况下,荷兰政府吊销了该公司向中国出口部分芯片制造设备的许可,该公司的先进芯片制造设备已被禁止出口到中国。此举将对阿斯麦ASML在中国的少数客户产生影响。

法新社在报道中称,在10-11月份中国进口ASML的光刻机激增10多倍后,美国官员联系了荷兰政府。荷兰外交发言人表示,出口许可证是根据荷兰国家安全逐案评估的。

光刻是指晶圆被放入光刻机中,光线会通过掩模版投射到晶圆上,光刻机的光学系统将掩模版上设计好的电路图案缩小并聚焦到晶圆上的光刻胶。当光线照射到光刻胶上时,会产生化学变化,将掩模版上的图案印制到光刻胶涂层上。因此,光刻在芯片制造过程中至关重要。而光刻机也被誉为半导体皇冠上的明珠。

二、早在2023年初,美、荷、日三个光刻机产业链最重要的三个国家,就达成了对部分国家禁售中高端光刻机的协议。

2023年初,美国与荷兰和日本,达成了对先进芯片制造设备实施出口限制的一致意见,旨在阻止东方国家获得可用于武器制造和高科技产品的最先进芯片。

2023年6月30日,荷兰政府根据年初与美日达成的意向,发布了有关半导体设备的出口管制新规定,当时就规定ASML需要向荷兰政府申请出口许可证,才能对外销售最先进的浸润式DUV系统(即TWINSCAN NXT:2000i及后续推出的浸润式光刻系统)。

美国商务部于10月17日发布了对华半导体出口管制最终规则,进一步加严对人工智能相关芯片、半导体制造设备的对华出口限制。

美国商务部在10月份扩大了针对中国的出口管制规则后,中国的进口量连续两个月飙升。在有关光刻系统的部分,美国废除了适用于某些深紫外线(DUV)工具的微量规则,该规则比荷兰政府9月份生效的出口规则设定了更高的标准。

不过需要指出的是:

第一、美、日、荷出口管制的对象并非所有浸润式DUV光刻系统,仅针对沉积设备和浸润式光刻系统。从此次ASML的声明中也可以看到,美国新规限制的也是特定型号的中高端DUV浸润式光刻机。

第二、如果非美国公司的任何产品含有至少25%的美国原产技术,按规则赋予华盛顿对该产品的长臂管辖权。

第三、ASML 首席执行官 Peter Wennink 表示,最新的限制措施并不针对绝大多数中国客户。因为这些客户涉足的是禁售范围外的成熟或传统的半导体制造,即28纳米及以上的半导体制造。

三、跟随美国对我禁售光刻机,荷兰不怕搬起石头砸自己的脚吗?

作为全球半导体行业的创新领导者,1984年成立的ASML公司,提供涵盖硬件、软件和服务在内的全景光刻解决方案,帮助芯片制造商在硅晶圆上批量刻制图形。同时,ASML也是目前世界上唯一使用极紫外光(EUV)的光刻机制造商,全球所有的芯片制造厂,都必须购买ASML的设备,它的光刻机,可谓是皇帝的女儿不愁嫁。

2022财年,ASML全球净销售额达212亿欧元。

2023年10月18日ASML公布的最新财报显示,2023年前三季度,ASML全球销售额达203亿欧元,来自中国的收入约53亿欧元,占比26%左右。毛利率在50%-51%之间。预计全年销售额可达270亿欧元以上,增长30%。

当时ASML还在财报发布会上称,尽管全球半导体行业整体处在周期谷底,但到当时为止,ASML还属于产能不足的状态,因为当时ASML手里还有未生产的订单350亿欧元,相当于其一年的产能。总体上讲,ASML的光刻设备供不应求。

现新的出口管制政策,按照ASML中国区披露的情况,大概只对在中国的销售产生10%-15%的影响,大约影响销售额7-10亿欧元。相当于整个ASML年销售收入的2.6%-3.7%。

所以荷兰的阿斯麦ASML公司表示,这些出口限制不会对该公司的财务前景产生实质性影响。2日在荷兰股市综合指数(AEX)上涨的情况下,阿斯麦股价在阿姆斯特丹证券交易所收盘下跌2.8%。

四、禁止部分ASML中高端光刻设备对华销售,对中国芯片产业有什么影响?

按照我国外交部发言人汪文彬的说法,对中国禁售部分中高端光刻机,这种行为 严重违反国际贸易规则,严重损害全球半导体产业格局,对国际产业链和供应链的安全与稳定造成严重后果。实际上,就是对我们的芯片产业链和供应链会产生一定的影响。

第一、由于禁售的是沉积设备和浸润式光刻系统,影响主要体现在高端芯片制造上。

从设备价值上看,被禁售的设备占全国光刻设备总需求的10%-15%。这一块的影响肯定是非常大的,因为独此一家,无可替代。网传的堆积什么的,还有网传的华为攻克了难关什么的,都是妖言惑众。否则从逻辑上讲,外交部发言人就没必要批评美国、荷兰的禁售决定了,禁什么我们就攻克什么,我们不是还应该感谢他们给我们提供了克难攻坚的动力了吗?!

第二、我们担心荷兰禁售范围扩大化,还提前集中进口了一批光刻设备。

2023年12月22日《南华早报》报道,在美国加强限制后,我国11月进口荷兰芯片制造设备激增了十倍。

11 月份,我国总共进口了 42 台光刻系统,总价值达 8.168 亿美元。其中从荷兰进口的关键芯片制造光刻系统16 台,价值 7.627 亿美元,同比增长10 倍。另有15台来自日本。日本是业界重量级企业佳能和尼康的总部所在地。荷兰和日本加在一起,几乎占据了我国上个月进口光刻机的全部金额。10 月份我国进口了 21 台光刻系统,价值 6.725 亿美元。

11月我们进口荷兰设备的平均单价比10月份高46%,这表明尽管美国一直试图阻挠中国的努力,但中国企业正在继续获得更先进的荷兰光刻系统。

第三、我国拥有的ASML光刻设备机台装机量接近1400台,完全能够满足中低端芯片生产。

我们从1988年进口首台ASML机器,到2023年底,我们累计进口了1400台ASML光刻机和量测的机台装机量。所以,实际上我们在中低端芯片的产能上,是完全没有问题的。

第四、中国光刻机设备中国产占比不足5%,从发展角度看还是存在一定的影响。

我国政府多年来也一直在推动技术自力更生的议程,但根据国家支持的CanSemi公司在2023年8月份的一次行业论坛上提供的数据,截至2021年,我国半导体厂使用的光刻系统中,只有不到 5% 是中国制造的。这意味着95%以上产品的升级、后期维护、维修,还是必须依赖ASML和佳能、尼康。

【作者:徐三郎】

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