湖南
起抛光大家应该都知道是什么，但要说离子束抛光，你还能搞明白吗？今天，就由小编带领大家一起揭秘离子束抛光技术背后的奥妙吧！
事实上，离子束抛光是目前市面上是比较新一批的超精密光学加工技术。随着市场的需求，光学表面对面形精度及表面粗糙度的要求越来越高，光学镜头（紫外光刻镜头等）也需要有接近衍射极限的成像质量，这些都促使超精加工中不断更新出新的技术，离子束抛光技术便是在这个背景下诞生的。
与传统的光学加工行业抛光工艺不同，离子束抛光属于原子量级上的无应力、非接触式抛光。从基本原理上来理解，就是在真空状态下，利用具有一定能量的惰性气体离子，比如氩气离子，去轰击工件表面，通过物理溅射效应去除表面材料。在这种加工方式下，能够很好地避免传统工艺中因预压力所产生的表面或亚表面损伤，而且真空环境洁净度很高，加工过程中不会引入杂质污染，能够有效制作超光滑表面。得益于离子束抛光技术高精度、无损伤和超光滑等特点，该技术目前被广泛应用于精密光学元件加工和制造，特别是高端光学元件加工。
说起近来在离子束抛光技术应用上做得比较好的企业，那就不能不提埃福思科技了。作为国内超精密光学元器件解决方案提供商，埃福思科技基于对离子束抛光技术的深入探索，自主研发了离子束抛光机IFS300A、IFS1000-600B等一系列设备产品，其中，离子束抛光机IFS300A尤为值得称道。
相比传统双真空室离子束抛光机，埃福思科技新一代离子束抛光机IFS300A摒弃了传统双室离子束抛光系统设计，将加工所需的 Z 轴设计于副真空室中，采用高性能的加工运动轴 Z 轴来传送工件，可以说在极大程度上提高了工件传送效率和传送可靠性。与此同时，IFS300A还同时配置了法拉第杯和三坐标测头，利用法拉第杯可以准确测定离子束的空间位置，利用三坐标测头可以准确测定法拉第杯和工件的位置，因此，埃福思科技研制的离子束抛光机可以准确自动设定加工坐标系。避免了夹具误差、装夹误差、真空变形等因素对加工坐标的影响，显著提升了加工确定性和加工精度。
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