洁净厂房施工及质量验收规范 GB51110-2015（后段）

8  消防、安全设施安装

8.1  一般规定

　　8.1.1  消防、安全设施的安装施工单位应具有规定的资质和安装施工许可证。

　　8.1.2  消防、安全设施的安装施工应符合下列规定：

　　    1  相关的土建工程应已施工验收合格，并应办理交接手续;

　　    2  应按工程设计文件和相关产品出厂技术说明文件的要求进行安装;

　　    3  安装前，应认真核查消防、安全产品制造单位的资质、制造许可证的真实性，并应符合相关规定，同时应做好检查记录;

　　8.2  管线安装

　　8.2.1  洁净厂房中的消防给水管道应安装在技术夹层内，接至洁净室(区)的立管位置应符合工程设计文件要求或与工艺设备布置、土建构造协调后确定。其外露部分应以装饰板包裹，表面应平整、光滑。

　　8.2.2  消防安全设施的电气线路应符合工程设计文件要求。

Ⅰ 主控项目

　　8.2.3  穿越洁净室(区)的墙体、顶棚的消防给水管、自动喷水系统的喷头短管等处，应以防火填料进行密封处理。

　　 检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　8.2.4  洁净室(区)采用高灵敏度早期报警装置的采样管道的安装应符合下列规定：

　　    1  采样管道应采用不漏气并能承受一定压力的刚性管道;

　　    2  管道连接、弯头、堵头等管件应密封良好。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　  4  安装前，应对所有设备、材料进行现场检查、检验，均应符合工程设计文件和合约的要求，并应进行记录。

　　8.2.5  消防、安全设施的各类火灾报警装置、气体报警装置、广播通信设施及其控制系统的电气线路的施工安装应符合下列规定：

　　    1  接至洁净室(区)内的电气线路穿墙、顶棚时，应以防火填料进行密封处理;

　　    2  电气线路应采用阻燃型或耐火型线缆。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　8.2.6  消防安全设施的管线、喷头短管等敷设时均应可靠固定，不得晃动。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　8.2.7  高灵敏度早期报警装置的采样管的安装还应符合下列规定：

　　    1  采样管的位置、规格应符合工程设计文件和供应厂家产品说明书要求;

　　    2  采样管道应以支架固定，不得晃动。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　8.3  消防、安全设备安装

　　8.3.1  消防安全设备的安装和安装位置、数量应按工程设计文件要求确定。

　　8.3.2  高灵敏度早期报警装置等火警报警装置的试验、试运转应符合下列规定;

　　    1  试验、试运转应在洁净室(区)内各专业施工安装完成，并应已进行彻底的清洁、空吹达到规定的要求后进行;

　　    2  调试前，应检查核对设备的规格;

　　    3  试验、试运转应按产品说明书要求进行。

　　8.3.3  消防安全设施联动试运转应符合下列规定：

　　1  应按工程设计文件的相关要求进行调试，并应达到相关技术指标;

　　    2  联动试运转应在各子系统试车验收合格后进行;

　　    3  联动试运转应包括事故排风装置、气体自动切断装置等安全设施;

　　    4  应在洁净室内各专业验收合格后进行。

Ⅰ 主控项目

　　8.3.4  洁净室(区)内的消火栓安装应符合下列规定：

　　    1  消火栓宜暗装，但安装处的墙体不得穿透;

　　2  当消火栓安装确需穿透时，所有接缝均应采用气密构造;

　　    3  消火栓外露表面应平整、光滑，安装后应擦拭洁净;

　　    4  消火栓内表面宜平整、光滑、易清洁，其箱内的管件、水龙带等应擦拭，并应洁净无尘。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　8.3.5  高灵敏度早期烟雾探测装置的安装应符合下列规定：

　　    1  烟雾探测装置的灵敏度应符合工程设计文件的要求。

　　    2  安装应牢固，不得倾斜。安装在轻质墙上时，应采取加固措施。

　　    3  应安装在不会导致采样管道和探测器本身损坏的环境中。

　　    检查数量：全数检查。

　　 检验方法：观察检查。

　　8.3.6  洁净室(区)内的火灾探测器的安装应符合下列规定：

　　    1  规格型号、数量应按工程设计文件的要求确定;

　　    2  探测器与顶棚的接缝应采用密封处理。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　8.3.7  洁净室(区)内的气体报警探测器的安装应符合下列规定：

　　    1  报警器的规格型号、数量应按工程设计文件的要求确定;

　　    2  探测器与墙体、顶棚的接缝或安装支撑固定处等均应采取密封处理。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　8.3.8  洁净厂房内的二氧化碳灭火装置的安装应符合下列规定：

　　    1  容量应按工程设计文件的要求确定;

　　    2  气瓶、管道应可靠固定，不得晃动;

　　    3  管道安装后，应进行试压和调试。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　8.3.9  洁净室(区)内的火警手动按钮的安装应符合下列规定：

　　 1  安装方式宜明装，外表面应平整、光滑、易清洁;与墙体的接缝处应密封处理。

　　    2  安装高度宜为1.0m～1.2m，并应有明显标识。

　　    检查数量：分区抽查30%，且不得少于每区3个。

　　   方法：观察检查、尺量。

9  电气设施安装

9.1  一般规定

　　9.1.1  电气装置的施工安装应符合下列规定：

　　    1  电气装置安装工程相关的土建工程等应已验收合格，并应办理相关交接手续;

　　    2  施工安装应按工程设计文件进行;

　　    3  所需的各种材料、线缆、配电盘(柜)、灯具、开关等应已检验合格，并应有相应的产品出厂合格证明和检验记录等，型号、规格和性能等均应符合工程设计的要求。

　　9.1.2  洁净室(区)内的电气装置和线管、线槽、桥架等宜采用暗装，并宜以装饰板进行防护，其外表面应平整、光滑，并应不产尘、积尘，易清洁。

　　9.1.3  电气装置安装工程的验收应符合下列规定：

　　    1  应提交变更设计的证明文件，安装过程记录，隐蔽工程记录，测试记录，设备及照明的试运行记录和设备、材料的合格证明及进场检验记录等的资料、文件;

　　    2  隐蔽工程应验收合格;

　　    3  设备及照明应已试运行，并应验收合格;

　　    4  电气接地设施应验收合格。

　　9.2  电气线路安装

　　9.2.1  电气线路、线管、线槽、桥架的位置、规格应符合设计文件要求。

　　9.2.2  电线管、电缆管、线槽、桥架的接地装置的施工及验收应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的有关规定。

Ⅰ 主控项目

　　9.2.3  电气线路的线管、线槽、桥架穿越洁净室(区)的墙体、顶棚时，应采用气密构造，其接缝均应进行密封处理。

　　检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.2.4  安装在洁净室(区)装饰板内的电线、电缆宜采用穿管敷设，穿越装饰板处应进行密封处理。

　　    检查数量：按室(区)分别抽查30%，且不得少于3处。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.2.5  电线、电缆穿管敷设时，穿管内不得设有接头，所有接头应设在配电箱或接线盒内。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　9.2.6  电气配线采用三相五线制或单相三线制时，其绝缘导线的绝缘层颜色应采用不同颜色进行区分，不得采用相同颜色的绝缘层。

　　    检查数量：按室(区)分别抽查30%。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.2.7  洁净室(区)内的配电盘(柜)、接线盒的配线施工安装时，应留有满足再次接线、调线的余量。

　　检查数量：按室(区)分别抽查30%。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.3  电气设备安装

　　9.3.1  配电盘(柜)、接线盒、插座箱和照明灯具等的位置、规格应符合设计文件要求。

　　9.3.2  电气设备的安装还应符合现行国家标准《建筑电气工程施工质量验收规范》GB 50303的有关规定。

　　9.3.3  洁净室(区)内配电盘(柜)、接线盒、插座箱和照明灯具等电气设备，内、外表面应平整、光滑、不积尘、易清洁，安装后应进行擦拭，并应无积尘。

Ⅰ 主控项目

　　9.3.4  洁净室(区)内配电盘(柜)的安装应符合下列规定：

　　1  嵌入式安装的配电盘(柜)与墙体之间的接缝应进行密封处理;

　　    2  嵌入式、挂墙式盘(柜)的安装高度应符合工程设计文件要求，其底标高不宜低于1.2m。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.3.5  洁净室(区)内嵌入式安装的接线盒、插座箱与墙体之间的接缝应进行密封处理。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.3.6  照明灯具、开关的安装应符合下列规定：

　　1  洁净室(区)内嵌入式安装的灯具与顶棚之间应进行密封处理;

　　    2  照明灯具采用吸顶安装时，灯具与顶棚之间宜采用气密性垫片密封，并应在接缝处涂以密封胶;

　　    3  泪珠灯安装时，应在进线处进行密封处理;

　　    4  嵌入式安装的开关盒，其面板应紧贴墙面，接缝处应涂密封胶。

　　    检查数量：按室(区)分别抽查30%。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　9.3.7  洁净室(区)内的配电盘(柜)内的配线应做到横平竖直、色别正确、标志齐全、连接可靠。

　　    检查数量：全数检查

　　    检验方法：观察检查。

　　9.3.8  洁净室(区)内的接线盒、插座箱的安装应端正，并应符合设计要求，设计无要求时，安装高度宜为1.0m～1.2m。

　　    检查数量：按装(区)分别抽查30%。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.4  防雷及接地设施安装

　　9.4.1  防雷设施的安装和接地体、接地线的位置、规格应符合工程设计文件的要求。

　　9.4.2  接地体与接地线或接地线与相关设备、插座的连接宜采用焊接或镀锌螺栓可靠连接。

　　9.4.3  接地设施的安装还应符合现行国家标准《电气装置安装工程接地装置施工及验收规范》GB 50169的有关规定。

Ⅰ 主控项目

　　9.4.4  接地体的施工安装应符合下列规定：

　　 1  接地体及其引出线和焊接部位应进行表面除锈，去除污物和残留焊渣，并应进行防腐处理;

　　    2  接地体埋设深度应符合工程设计文件的要求，且不得小于0.6m;

　　    3  以角钢、钢管等制作的接地体，应采用垂直设置;

　　    4  垂直接地体之间的距离不宜小于2倍接地体长度，水平接地体之间的距离不宜小于5m。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　9.4.5  接地线的施工安装应符合下列规定：

　　1  接地线穿越洁净室墙体、顶棚和地面处宜采用套管，并应进行密封处理;

　　    2  明敷的接地线不应妨碍设备的安装、维修，并应便于检查;

　　    3  在易发生明敷接地线损伤的场所，其接地线应采取保护措施。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　9.4.6  接地体的施工安装还应符合下列规定：

　　    1  接地体经检测，其接地电阻应符合工程设计文件要求;做好隐蔽工程记录后应进行回填。

　　 2  接地体的回填土不得对其有腐蚀，并不得夹杂石块和建筑垃圾等。

　　    检查数量：抽查30%。

　　    检验方法：观察检查。

　　9.4.7  接地线的施工安装还应符合下列规定：

　　    1  在洁净室(区)内明敷的接地线与建筑墙体、顶棚之间的间隙宜为10mm～15mm，与地面之间的距离宜为250mm～300mm;

　　    2  接地线跨越建筑物的伸缩缝、沉降缝时，应设置补偿器;

　　 3  明敷接地线应做标识。

　　    检查数量：抽查30%。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

10  微振控制设施施工

10.1  一般规定

　　10.1.1  微振控制设施应与洁净厂房主体结构、动力公用工程、净化空调系统、排风系统等相关设施同步施工安装。

　　10.1.2  微振控制设施的施工应根据具体工程项目特点，并按微振控制设施的设计、测试和建造程序进行。

　　10.2  微振控制设施施工

Ⅰ 主控项目

　　10.2.1  洁净厂房的微振控制设施的施工应按下列阶段进行测试分析：

　　    1  现场环境振动测试及分析;

　　    2  建筑结构振动特性测试及分析;

　　    3  精密设备仪器安装场所环境振动测试及分析;

　　    4  竣工验收测试及分析。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：核查测试分析报告。

　　10.2.2  隔振台、隔振装置、隔振器等的施工安装应符合工程设计文件的要求。

　　    检查数量：全数检查。

　　 检验方法：核查施工安装记录。

　　10.2.3  隔振装置施工安装时，应核对空气弹簧隔振器、阻尼器、限位器、高度调节器，以及配管、底座的规格、数量、尺寸，并应符合设计要求。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查，尺量。

　　10.2.4  安装隔振器的地面、台板等应平整、清洁;各组(个)隔振器承受荷载的压缩量应均匀，高度误差应小于2.0mm。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查，尺量。

　　10.2.5  隔振设施安装时应调整被隔振体高度达到规定值。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查，尺量。

　　Ⅱ 一般项目

　　10.2.6  隔振台的台板表面应平整、清洁，台板水平度误差应符合设计要求，且不宜大于3‰。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查，尺量。

　　10.2.7  隔振所用的支、吊架，其结构形式、尺寸应符合设计文件的要求，焊接应牢固，焊缝应饱满、均匀。

　　    检查数量：抽查50%。

　　    检验方法：核查施工记录，观察检查。

　　10.2.8  地板或楼板整体式隔振系统，支承结构、地板或楼板应平整、清洁，水平度误差应符合设计要求。

　　    检查数量：抽查50%。

　　    检验方法：核查施工记录，观察检查。

11  噪声控制设施安装

11.1  一般规定

　　11.1.1  噪声控制设施宜与建筑装饰、净化空调系统、排风系统等设施同步安装施工。

　　11.1.2  噪声控制设施的安装施工应符合下列规定：

　　    1  应按工程设计文件和设备、材料技术说明书进行安装;

　　    2  各种设备及其附件、材料均应已进行现场检查、检验，且应符合工程设计文件或合约要求，并应进行记录。

　　11.2  噪声控制设施安装

Ⅰ 主控项目

　　11.2.1  消声器、隔声罩等噪声控制设备安装前，应按工程设计文件和产品说明书的规定，检查其完整性、严密性、规格尺寸等，并应做好记录。

　　    检查数量：按系统、用途抽查50%，且不得少于2件。

　　    检验方法：观察检查，尺量。

　　11.2.2  消声器的安装应符合下列规定：

　　    1  安装位置、方向应正确，与风管或配管的连接应严密，不得有损坏与受潮;两组同类型的消声器不应直接串联;

　　    2  现场安装的组合式消声器，其组件的排列、方向和位置应符合设计要求，单个消声器组件应可靠固定，消声器应设独立支吊架。

　　检查数量：整体安装的消声器，抽查20%，并不得少于5台。

　　    检验方法：观察检查，核查安装记录。

　　11.2.3  隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：

　　    1  安装位置、方向应正确，与主体设备、结构的连接应严密，并应可靠固定。

　　    2  检查门、观察窗和通风装置应严密，应无损坏或异常;活动部件应灵活，应符合设计要求。

　　    3  隔声材料应均匀满布，不得有损坏或外露。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查，敲击隔声围护构造。

　　11.2.4  洁净厂房内吸声设施的施工安装应符合下列规定：

　　    1  吸声墙体、顶棚或地面等的构造、材质和规格尺寸均应符合设计要求;

　　    2  洁净室(区)内的吸声设施应表面光滑、易清洁、不起尘。

　　    检查数量：抽查30%。

　　    检验方法：观察检查，敲击围护构造，尺量。

　　Ⅱ 一般项目

　　11.2.5  消声器的安装还应符合下列规定：

　　1  消声器安装前应保持干净，并应做到无油污和浮尘;

　　    2  消声器、消声弯管的安装均应设独立的支(吊)架。

　　    检查数量：整体安装者，抽查20%;现场组装时，全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　11.2.6  隔声罩、隔声室的安装应符合下列规定：

　　    1  安装前应保持清洁，并应做到无油污和浮尘;

　　    2  安装后应对内、外表面进行擦拭，并应保持清洁、无尘。

　　    检查数量：抽查20%。

　　    检验方法：观察检查。

　　11.2.7  洁净厂房内吸声设施的施工安装应符合下列规定：

　　    1  吸声设施的表面应符合设计要求;

　　    2  吸声材料不得有损坏或明显的外露。

　　    检查数量：抽查20%。

　　    检验方法：观察检查，尺量。

12  特种设施安装

12.1  一般规定

　　12.1.1  本章适用于洁净厂房内的高纯气体供应设施、纯水供应设施、工艺生产用水设施、化学品供应设施的安装施工质量验收。

　　12.1.2  特种设施的安装施工应符合下列规定：

　　    1  相关的土建工程应已验收合格，并应办理交接手续;

　　    2  应按工程设计文件和相关设备出厂技术说明要求进行安装;

　　    3  各种设备及其附件、材料应已进行现场检查、检验，并应符合工程设计和设备技术要求，同时应做好进场记录。

　　12.1.3  对气密性、渗漏性控制严格的特种设施的设备、附件等，安装前应检查密封状况，发现异常时，应与供货商共同检查，并应经确认不影响使用功能后再进行安装。

　　12.1.4  特种设施的承压设备、附件应具有压力试验、无损探伤等有效检验合格文件。无合格文件者，不得进行安装。

　　12.1.5  有爆炸危险或有毒的气体、液体、有机溶剂等相关的设备、附件应具有有效检验的合格文件，不符合规定者不得进行安装。

　　12.1.6  分类、分系统进行安装质量验收，宜与相关系统的试运转结合进行。

　　12.1.7  有防静电接地要求的设施，应在安装就位或系统管道安装完成后进行可靠接地。

　　12.2  高纯气体、特种气体供应设施安装

　　12.2.1  高纯气体、特种气体管道及其阀门、附件等的材质应符合工程设计文件的要求。采用低碳不锈钢管时，其安装施工应符合本规范第7.4节的规定。

12.2.2  管路系统的试运转应包括管路吹扫、气密性、泄漏性试验和纯度测试。

Ⅰ 主控项目

　　12.2.3  高纯气体、特种气体供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求，检查设备及填充的纯化材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做检查记录。

　　检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　12.2.4  纯化设备、特气柜的搬运、就位应符合下列规定：

　　    1  搬入洁净室(区)前应进行清洁，符合要求后应从规定的设备搬入口运入;

　　    2  整体设备搬运时，应按设备的构造、管道及阀门等附件的配置状况安全运输，不得倒置，并应可靠固定;

　　    3  设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求，做好接管、接线定位;

　　 4  就位后，水、电接口应按工程设计文件要求连接;

　　    5  气体管道接口应在分系统的气体输送管道安装试运转合格后再连接。

　　    检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　12.2.5  高纯气体、特种气体系统的阀门箱、吹扫盘的安装应符合下列规定：

　　    1  应检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书等，并应做好记录;

　　    2  安装位置应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线方位的正确性;

　　3  气体管道接口应在所在系统试运转合格后再连接。

　　    检查数量：按气体品种、分系统全数检查。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　12.2.6  高纯气体、特种气体设施施工安装试运转的纯度测试应符合下列规定：

　　    1  纯度测试介质，宜采用工作气体进行。

　　    2  测试气体的压力，宜与输送介质的设计压力相同。

　　    3  测试气体的检测取样口或排气接口，应设在供气系统中要求气体纯度及其杂质含量最严格且距离最长的用气设备处。

　　    4  纯度测试过程，取样时间的间隔宜为4h;气体样品应采用与输送介质纯度及允许杂质含量相应的精度等级的仪器进行分析。

　　5  当测试气体进、出口的纯度及其氧痕量、水痕量等杂质含量达到一致时，应认为纯度测试合格。

　　    检查数量：按系统全数检查。

　　    检验方法：仪器检查。

　　12.2.7  管路系统的试验应符合下列规定：

　　    1  高纯气体、特种气体供应设施的强度试验、气密性试验和泄漏量试验及试验压力均应按工程设计文件要求执行。

　　    2  试验气体宜采用无油干燥压缩空气或纯氮气或纯氦气;试验气体压力按规定逐步升至系统强度试验压力后，应保持10min，然后降压至气密性试验压力，检查接口、焊缝，应以不漏为合格。

　　  3  气密性试验合格后，进行泄漏量试验，试验气体为纯氮或无油干燥压缩空气时，系统应以设计压力保持24h，检查泄漏率不超过0.5%为合格。采用氦气为试验气体时，系统应以设计压力保持1h，检查泄漏率不应超过0.5%为合格。不合格时，应检查原因并进行完善后，再进行泄漏量试验，直至合格为止。

　　    4  管路系统的试验，不应包含纯化设备、特气柜和阀门箱等。

　　    检查数量：按系统全数检查。

　　    检验方法：观察检查、仪表检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　12.2.8  管路吹扫应符合下列规定：

　　    1  应按气体品种、工作参数分系统分别进行吹扫。

　　    2  管路系统应采用0.3MPa～0.5MPa的无油干燥压缩空气或纯氮进行吹扫，吹扫气体应设置过滤精度严于0.3μm的气体过滤器去除微粒;对输送可燃气体的管路宜采用纯氮吹扫。

　　3  在管路系统吹扫气体排出口设靶检查，应以靶上未见微粒为合格;对输送可燃气体的管路系统，应以排出口吹扫气体中含氧量小于1%为合格。

　　    检查数量：按系统全数检查。 

　　    检验方法：观察检查、仪表检查。

　　12.3  纯水供应设施安装

　　12.3.1  纯水供应设施安装前，应按工程设计文件和产品说明书的要求检查、核对设备及填充的材料、阀门和管件的完整性、密封性，并应做好检查、核对记录。

　　12.3.2  纯水管道及其阀门、附件的材质，应按工程设计文件和产品生产要求进行选择。

Ⅰ 主控项目

　　12.3.3  单体设备的搬运、就位应符合下列规定：

　　1  搬入洁净室(区)内的单体设备，应进行清洁后再搬入;

　　    2  装有填料或元件的单体设备，应按要求的方向进行搬运、就位，不得倒置;

　　    3  单体设备就位时，应按工程设计文件和产品说明书要求进行定位。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　12.3.4  洁净室(区)内纯水末端处理设备的安装应符合下列规定：

　　    1  设备搬运、就位应符合本规范第12.3.3条的要求;

　　2  纯水管道接管，应在纯水系统安装后经试验及试运转合格后连接;

　　    3  接管、接线后，应按工程设计文件和产品说明书进行试运转。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　12.3.5  药品和保健品等生产用纯水系统的安装应符合下列规定：

　　    1  设备搬运、就位应符合本规范第12.3.3条的要求;

　　2  应根据使用特点和工程设计文件要求选择管路材质、阀门、附件，并不得对水质产生污染和引起腐蚀或损伤;

　　    3  系统安装完成后，应按规定进行试验、试运转，合格后按使用要求进行清洗或消毒灭菌，达到规定指标后，宜循环待用。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　12.3.6  管道系统的试验、试运转应符合下列规定：

　　1  管道系统的试验应按工程设计文件要求进行水压试验，其试验方法应符合现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定;

　　    2  管道系统的试验、试运转，不宜包括末端处理装置;

　　    3  试验合格后，应以同等水质的纯水进行清洗，直至在管路末端无杂质、无污染物为合格;

　　    4  有特殊要求的纯水系统，应按设计要求进行脱脂、清洗、钝化，并应按规定进行消毒灭菌;

　　    5  纯水水质试验，应以本系统同样水质的纯水进行试验，水质分析采样口应为水质要求最严格且距离最长的用户末端处：取样时间间隔应为2h～4h，应以系统的始端、末端的水质相同为合格。

　　检查数量：全数检查。

　　    检验方法：观察检查、仪器检测。

　　12.3.7  管道清洗应符合下列规定：

　　    1  管道清洗先以清洁水冲洗，末端检查无杂物后，应以同等水质的纯水清洗;

　　    2  清洗时，应关断所有接至单体设备的阀门，管道系统的过滤器滤芯应卸下，并应待清洗合格后原样恢复。

　　    检查数量：按系统分别检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　12.4  化学品供应设施安装

　　12.4.1  本节适用于洁净厂房中工业产品生产所需的酸、碱、有机物质等化学品供应设备、输送管路系统的安装施工质量验收。

　　12.4.2  化学品供应设施安装前，应按设计文件和产品说明书的要求检查设备、容器、阀门和附件的完整性和密封性等，并应做检查记录。

　　12.4.3  化学品供应设施中的各类泵的安装施工，应符合现行国家标准《风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范》GB 50275的有关规定。

Ⅰ 主控项目

　　12.4.4  洁净室(区)内化学品输送管道系统的阀门箱的安装应符合下列规定：

　　    1  应检查箱体及箱内阀门、仪表和附件的完整性、密封性和合格证书，并应做好检查记录;

　　    2  就位安装应按工程设计文件、产品说明书要求进行，并应检查接管、接线方位的正确性;

　　    3  各种管道的连接应在所在系统吹扫或清洗合格后进行。

　　    检查数量：各阀门箱全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　12.4.5  化学品供应设施的容器、管道及其阀门、附件的材质应符合工程设计文件要求。

　　    检查数量：各类设施全数检查。

　　    检验方法：观察检查。

　　Ⅱ 一般项目

　　12.4.6  容器的搬运、安装就位应符合下列规定：

　　    1  搬入洁净室(区)前应进行清洁，并应符合要求后从规定的搬入口运入;

　　    2  容器搬运应根据容器结构、规格尺寸及接管配置状况，进行固定，不得倒置;

　　    3  就位前，应检查基础平整度、高度，基础表面的水平度不应大于2%，标高偏差不应大于2mm;

　　4  容器各接管中心与基础面上的基准线对准、测量，其允许偏差不应大于3mm;

　　    5  容器安装就位后的垂直度不应大于2‰。

　　    检查数量：各类容器全数检查。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　12.4.7  化学品供应设施的低碳不锈钢管、PE管、PVDF管等的管道系统安装施工应符合本规范第7章的有关规定。

　　    检查数量：符合本规范第7章的有关规定。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　12.4.8  管道吹扫或清洗应符合下列规定：

　　1  应按各种化学品供应系统，分别在安装完成后分系统进行吹扫或清洗。

　　    2  吹扫或清洗宜采用干燥压缩空气或纯氮或清洁水，吹扫介质压力应为0.2MPa～0.3MPa，吹扫管道应设置过滤精度严于0.3μm的过滤器。

　　    3  吹扫清洗时，应关断所有接至各类容器的阀门;管道系统的过滤器滤芯，流量计应卸下，并应待吹扫后按原样恢复。

　　    4  各系统的吹扫应反复多次进行，吹扫时间不宜少于2.0h，并应以湿的白色滤纸或白布或涂有白色漆的靶板放在吹扫气排出口，经5min后检查微粒状况。不合格时，应继续吹扫，直至合格。

　　检查数量：按系统分别全数检查。

　　    检验方法：观察检查、仪表检查。

　　12.4.9  管道系统的试验、试运转应符合下列规定：

　　    1  管道系统的试验应按工程设计文件要求进行强度试验、气密性试验，金属管道的试验方法可按现行国家标准《工业金属管道工程施工规范》GB 50235的有关规定执行。

　　    2  管道系统的试验、试运转，不宜包括各类容器、泵类等设备。

　　    3  承压管道应进行强度和严密性试验，强度试验的试验压力应为设计压力的1.5倍，严密性试验的试验压力应为设计压力的1.15倍。非承压管道应进行满水试验。 

　　 4  试验合格后，应以纯水或氮气进行清洗吹扫，并应直至末端无杂质、污染物为合格。

13  生产设备安装

13.1  一般规定

　　13.1.1  本章适用于与洁净厂房施工验收相关的生产工艺设备安装和验收，但不应包括生产工艺设备自身的施工安装和验收要求。

　　13.1.2  洁净厂房中生产工艺设备除大型设备外，宜在洁净室(区)空态验收合格后进行安装。

　　13.1.3  设备的搬运、安装过程不得有超范围的振动、倾斜，不得划伤及污染设备表面，设备搬入洁净室(区)前应清洁、无尘。

　　13.2  设备安装

　　13.2.1  生产工艺设备安装施工条件宜符合下列规定：

　　    1  安装生产工艺设备前，洁净厂房净化空调系统应已连续正常运行48h，照明系统应已正常工作，且现场应有便捷电源供应;

　　    2  大型、特殊要求的生产设备，应按设计要求在净化空调系统安装前就位，可按本规范附录A进行;

　　    3  洁净室(包括风淋室)应已启用，并应建立洁净厂房设备安装管理操作规程。

　　13.2.2  洁净室(区)内生产设备安装施工用辅助材料应符合下列规定：

　　  1应为无尘、无锈、无油脂且在使用过程中不产尘的清洁材料;

　　    2  应以洁净、无尘的板材、薄膜等材料保护洁净室(区)的建筑装饰表面;

　　    3  设备垫板应按设计或设备技术文件要求制作，如无要求时可用不锈钢板或塑料板;

　　    4  制作独立基础和地板加固用的碳钢型材应经防腐处理，表面应平整、光滑;

　　    5  用于嵌缝的弹性密封材料应有注明成分、品种、出厂日期、储存有效期和施工方法的说明书及产品合格证书。

　　13.2.3  洁净室(区)使用的机具不得搬至非洁净室(区)使用，非洁净室(区)使用机具不得搬至洁净室(区)使用，洁净区使用机具应符合下列规定：

　　    1  机具外露部分不应产尘或采取防止尘埃污染环境的措施;

　　    2  常用机具在搬入洁净区前应在气闸室进行清洁处理，应达到无油、无垢、无尘、无锈的要求，并应经检查合格贴上“洁净”或“洁净区专用”标识后搬入。

　　13.2.4  设备特殊基础应符合下列规定：

　　    1  洁净室地面为活动地板时，基础宜设置在下技术夹层地坪上或混凝土多孔板上;

　　 2  钢制框架结构的独立基础应采用镀锌材料或不锈钢材料制作，外露表面应平整、光滑;

　　    3  安装基础所需拆除的活动地板，经手持电锯切割后的钢结构应予加固，其承载能力不应低于原承载能力。

　　13.2.5  墙板、吊顶和活动地板开洞应符合下列规定：

　　    1  开洞作业不得划伤或污染需保留的墙板、吊顶板表面，活动地板开口后不能及时安装基础时，应设安全护栏并设危险标识;

　　    2  生产设备安装后，洞口四周间隙应进行密封处理，并应做到设备与密封组件为柔性接触;密封组件与壁板的连接应紧密、牢固;工作间一侧的密封面应平整、光滑。

　　13.2.6  拆除包装应符合下列规定：

　　    1  设备开箱拆除外包装应在设备搬入平台上进行，并不得破坏内包装;

　　    2  设备的内包装应在气闸室前拆除，拆除前应先用吸尘器、洁净布清除内包装外表面的尘粒。

　　13.2.7  生产设备从搬入平台经搬入口、气闸室至洁净室(区)的搬运应符合下列规定：

　　    1  对搬入设备的最大件无法通过预留的门洞时，可保护性拆除门或洁净室隔断，应在设备搬入后再恢复到原有状态;

　　    2  沿搬运路线的门框、墙角等处应设保护措施;

　　3  在活动地板上搬运设备时，应敷设软塑料保护层和不锈钢板或铝合金板;

　　    4  当搬运重量超过活动地板的承载能力时，应根据现场实际情况采取加固措施，并应采用不产尘的材料。

　　13.2.8  洁净室(区)内搬运生产工艺设备，宜采用搬运车或气垫搬运装置。搬运时应控制其行进速度不得大于1m/s。

　　13.2.9  设备就位安装应符合下列规定：

　　    1  在自流坪地面安装设备时，应有地面保护措施;

　　 2  在活动地板上吊装设备时，应核对活动地板的允许荷载，当允许荷载不能满足起吊荷重时，应对活动地板进行加固;

　　    3  设备就位安装需开孔时，应采用真空吸尘接口或吸尘器吸除所产生的尘粒，直至吸尽孔内积存的尘粒。

　　13.3  二次配管配线

　　13.3.1  生产设备应在找正、调平并经检验合格后，再进行设备所需水、电、气、排风等二次配管配线施工。工艺设备二次配管配线除应符合本规范第5章～第8章的规定外，还应符合下列规定：

　　    1  二次配管配线的主材应与生产工艺设备一致，各种垫料、填料等辅材应与相关配管配线的工程设计一致，并应采用密封性能好且不产尘的材料。

　　    2  二次配管预制作业应在专设的防尘、防静电的洁净工作小室内进行，加工件应经洁净处理后密封搬入洁净室(区)内。

　　 3  碳钢支、吊架应采用镀锌材料，切割端面亦应做防锈处理，安装应牢固可靠;不锈钢管与碳钢支架、管卡之间应分别设隔离垫和隔离套管，隔离垫宜用软质聚四氟乙烯板，套管宜用聚乙烯软管。

　　    4  上技术夹层引下的管线，宜从增设在生产工艺设备附近的管线柱内敷设。管线柱高度宜高于房间吊顶，柱壁可采用装饰用不锈钢管或用型钢作框架，框架外贴装饰应用不锈钢面板;柱壁上可安装电气插座、开关箱及阀门等。

　　13.3.2  二次配管配线的施工安装应避免在洁净室(区)内进行锯、锉、钻、凿等作业，个别情况不可避免时，应在产尘处采用真空吸尘接口或吸尘器不间断地吸除尘粒。

　　13.3.3  二次配管完成后，不宜进行冲洗或吹洗、严密性试验。若需要时，应根据生产设备和厂房内配管连接状况制订安全技术措施，并应经批准后再实施。

14  验    收

14.1  一般规定

　　14.1.1  洁净厂房工程施工完成后应进行验收，验收宜划分为竣工验收、性能验收、使用验收。

　　14.1.2  竣工验收应在分项验收合格后进行。

　　14.1.3  性能验收应在竣工验收完成后进行，并应进行检测。

　　14.1.4  使用验收应在性能验收完成后进行，并应进行测试。

　　14.1.5  洁净厂房验收的检测状态应分为空态、静态和动态。竣工验收阶段的检测宜在空态下进行，性能验收阶段宜在空态或静态下进行，使用验收阶段的检测应在动态下进行。

　　14.2  洁净厂房的测试

　　14.2.1  洁净厂房的验收中，在进行各项性能检测前，净化空调系统应正常运行24h以上，并应达到稳定运行状态。

　　14.2.2  检测用仪器仪表均应进行标定，并应在标定有效期内。

　　14.2.3  洁净厂房测试应按验收阶段分段进行。竣工验收阶段的检测应确认各项设施符合工程设计和合同的要求;性能验收阶段的检测应确认各项设施均能有效、可靠地运行;使用验收阶段的检测应按产品生产工艺和“动态”活动要求，确认各项设施有效、可靠地运行。

　　14.2.4  洁净厂房性能测试项目应符合表14.2.4的要求。具体工程项目的性能测试清单、测试顺序等应按本规范附录B执行。

　　表14.2.4  洁净厂房性能测试项目

　　14.2.5  空气洁净度等级的检测应对粒径分布在0.1μm至5.0μm之间的悬浮粒子的粒径和浓度进行测试，空气洁净度等级应符合设计和建设方的要求。对于超微粒子、宏粒子的测试结果，应根据业主或设计要求确定。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.6  洁净厂房内应根据生产工艺要求进行浮游菌、沉降菌的检测。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.7  风量和风速的测试，对单向流洁净室的送风量应以测试的平均送风速度乘以送风截面积确定;非单向流洁净室的送风量可采用直接测试或测出风口风速乘以出风截面积确定。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.8  压差测试，应为检验洁净室(区)与其周围环境之间的规定静压差，应在洁净室(区)的风速、风量和送风均匀性检测合格后进行静压差测试。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.9  对已装空气过滤器应进行检漏;应在安装后的过滤器的上游侧引入测试气溶胶，并应及时在送风口和过滤器周边、外框与安装框架之间的密封处进行扫描检漏。检漏测试可在“空态”或“静态”进行。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.10  气流流型和气流方向，应在风量、风速和静压差等测试达到要求后进行检测。

　　    检查数量：单向流、混合流洁净室(区)抽检50%以上，非单向流洁净室(区)抽检30%以上。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.11  应在相关的净化空调系统连续、稳定运行后再进行洁净室(区)的温度、相对湿度检测，并应达到设计要求。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.12  对于空气洁净度等级严于5级的洁净室(区)，应进行围护结构密闭性的测试。

　　    检查数量：全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.13  洁净室(区)内的噪声测试，应在“空态”或与建设单位协商的状态下进行检测，室内噪声应达到标准规定值。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.14  洁净室(区)的照度测试，应在室内温度稳定和光源光稳定状态下进行，室内照度值应达到设计要求。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.15  对于非单向流洁净室，应进行自净时间的检测。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.16  当洁净厂房中设有需微振控制的精密设备仪器时，应对微振控制设施的建造质量进行检测，并应达到设计要求。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.17  洁净室(区)的地面、墙面和工作台面的表面导静电性能，应根据生产工艺要求进行检测，并应达到标准规定或设计要求。

　　    检查数量：按房间或区域，全数检查。

　　    检验方法：按本规范附录C。

　　14.2.18  洁净厂房的每项测试均应编写测试报告，并应包括下列主要内容：

　　    1  测试单位的名称、地址，测试人和测试日期;

　　    2  所测设施名称及毗邻区域的名称和测试的位置、坐标;

　　    3  设施类型及相关参数;

　　    4  测试项目的性能参数、标准，包括占用状态等;

　　    5  所采用的测试方法、测试仪器及其相关的说明文件;

　　    6  测试结果，包括测试记录、分析意见;

　　    7  结论。

　　14.3  竣工验收

　　14.3.1  洁净厂房的竣工验收，应在各分部单机试车，无生产负荷系统试车自检合格后进行。竣工验收应包括对各分部工程的单机试车、无生产负荷系统试车的核查、洁净室(区)性能参数检测和调试、各分部观感质量核查。

　　14.3.2  洁净厂房竣工验收时，应检查竣工验收的下列文件及记录：

　　    1  图纸会审记录、设计变更通知书和竣工图;

　　    2  各分部工程的主要设备、材料和仪器仪表的出厂合格证明及进场检验报告;

　　    3  各分部工程的单机设备、系统安装及检验记录;

　　    4  各分部单机试运转记录;

　　 5  各分部工程、系统无负荷试运转与调试记录;

　　    6  各类管线试验、检查记录;

　　    7  各分部工程的安全设施的检验和调试记录;

　　    8  各分部工程的质量验收记录。工程质量验收记录用表应按本规范附录D执行。

　　14.3.3  洁净厂房内各分部工程的观感质量核查应符合本规范第5章～第13章的相关规定。

　　    检查数量：各分部按系统抽查20%，且不得少于1个系统;各类设备、部件、仪表和阀门等按数量抽查20%，且不得少于1台或10件。

　　    检验方法：观察检查、尺量。

　　14.3.4  各分部工程的各类设备单机试车的核查应符合本规范第5章～第12章的相关规定。

　　    检查数量：按数量每种单机抽查20%，且不得少于1台。

　　    检验方法：按本规范第5章～第12章的相关方法。

　　14.3.5  各分部工程的各类系统的单机试车核查合格后，应进行无生产负荷的稳定运行核查，并应符合本规范第5章～第12章的相关规定。

　　    检查数量：每一分部按系统抽查20%，且不得少于1个系统。

　　    检验方法：按本规范第5章～第12章的相关方法。

　　14.3.6  洁净厂房竣工验收的主要测试内容应包括下列测试：

　　    1  气流目测;

　　    2  风速和风量测试;

　　    3  已装过滤器的检漏;

　　    4  洁净室(区)的密闭性测试;

　　    5  房间之间的静压差测试;

　　    6  空气洁净度等级;

　　7  产品生产工艺有要求者，应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;

　　    8  自净时间;

　　    9  温度、相对湿度;

　　    10  ˋ照度值;

　　    11  ˋ噪声级;

　　    12  ˋ其他需要进行的检测项目。

　　14.3.7  洁净厂房竣工验收后，应由施工方编写竣工验收报告，除应包括本规范第14.3.2条的内容外，还应包括下列内容：

　　1  观感核查记录;

　　    2  分项测试记录及分析意见;

　　    3  测试仪器的有效校验证书;

　　    4  结论。

　　14.4  性能验收

　　14.4.1  洁净厂房的性能验收应经过规定的检测和调试，确认洁净室(区)性能参数均应满足产品生产运行的要求。

　　14.4.2  洁净厂房竣工验收合格，并经核实批准后，应按设计要求进行性能验收，性能验收的主要测试内容应包括下列测试：

　　    1  检测空气洁净度等级;

　　    2  生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;

　　 3  洁净室(区)的温度、相对湿度的稳定性测试;

　　    4  检测自净时间;

　　    5  检测洁净室(区)的密闭性测试;

　　    6  测定照度;

　　    7  测定噪声级;

　　    8  需要时，确认和记录气流形式和换气次数;

　　    9  需要进行的其他检测项目。

　　14.4.3  洁净厂房的性能验收后，应编写验收报告，应包括下列主要内容：

　　    1  洁净厂房中各种设施的开启状态描述;

　　    2  分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、坐标等);

　　    3  测试仪器的有效校验证书;

　　    4  结论。

　　14.5  使用验收

　　14.5.1  洁净厂房的使用验收应在设计规定的使用状态下进行检测和调试，确认洁净室(区)的动态性能参数均应有效满足使用要求。

　　14.5.2  使用验收的主要检测内容应包括下列测试：

　　    1  检测空气洁净度等级;

　　    2  生产工艺有要求者，还应进行微生物测试或化学污染物测试或特殊表面的洁净度测试;

　　    3  温度、相对湿度的稳定性测试;

　　    4  确认洁净室(区)的密闭性能;

　　 5  建设方需要进行的其他检测项目。

　　14.5.3  洁净厂房使用验收后，应编写使用验收报告，应包括下列主要内容：

　　    1  洁净厂房中各种设施(包括生产工艺设备)等的开启状态描述;

　　    2  测试的洁净室(区)人员及其活动情况的描述;

　　    3  分项测试记录及分析意见(包括测试点位置、坐标等);

　　    4  测试仪器的有效校验证书;

　　    5  结论。