世界光刻机制造巨头、荷兰的阿斯麦(ASML)永远有新闻。
据路透社上月底报道,荷兰阿斯麦公司正在制造新款极紫外线(EUV)光刻机,每台售价约4亿美元。
路透社援引阿斯麦公司高级管理人员的话报道,新一代高数值孔径EUV光刻机的原型机将在2023年上半年制造完成。
该公司的高管说,顶级芯片供应商已经准备最早2025年开始使用上述产品的量产机。
据称,新型的光刻机重200吨,有双层巴士那样大小。
该公司希望,在2020年以后,能够成为光刻机的旗舰产品。
报道援引美国超大规模集成技术研究所专家丹·哈奇森(Dan Hutcheson)的话说,高数值孔径EUV光刻机可为一些芯片企业提供巨大优势,“有点像谁得到最好的枪”。
阿斯麦公司在EUV光刻机方面占据垄断地位。据哈奇森介绍,中国台湾积体电路制造股份有限公司(台积电)本世纪头十年使用阿斯麦公司的EUV光刻机,甩开了竞争对手。
美国英特尔公司首席执行官帕特·格尔辛格(Pat Gelsinger)曾经为此发誓,在高数值孔径EUV光刻机方面不会再犯同样错误。
EUV光刻机是缩小芯片制程的关键技术。鉴于同等空间内晶体管数量越多,芯片性能就越强,因此芯片制程越小越好。
阿斯麦公司首席执行官彼得·温宁克(Peter Wennink)说,过去十年间,阿斯麦公司已售出了大约140部EUV光刻机,每部售价约2亿美元。
自 2000 年以来,阿斯麦迅速从日本竞争对手尼康和佳能手中夺取了市场份额,后者现在主要专注于旧技术。
阿斯麦目前控制着世界超过 90% 的光刻机市场。没有竞争对手试图建立下一代光刻机 EUV 系统,理由是开发成本太高。
而阿斯麦继续在世界各地修建新的厂房,扩大生产。
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