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日本光刻机曾是全球第一,为何造出EUV光刻机,却偏是荷兰ASML?

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文/BU 审核/子扬 校对/知秋

据芯思想研究院最新公布的“2021年度全球半导体前道光刻机销售情况”显示,2021年全球集成电路用光刻机出货量为478台,其中有309台都出自荷兰ASML之手,在EUV光刻机市场中,ASML更是行业唯一的霸主。

光刻机赛道中的另外两家企业——尼康与佳能,所占据的市场份额则是寥寥无几,二者完全不是ASML的对手。

日本光刻机辉煌

其实在光刻机领域,日本有过一段相当辉煌的历史。

上世纪80年代,日本在光刻机领域形成了垄断地位,仅尼康一家企业便独占50%的市场,佳能则次之。

而当时的ASML还是一个十分不起眼的小公司,员工时常为公司明天的发展而担忧。资金、人才等等,ASML样样都缺。

那么,差距如此之大的尼康与ASML,是如何在此后20多年的时间里,做到了地位互换的呢?又为何,日本没能攻克EUV光刻机,而ASML却做到了呢?

ASML崛起

笔者认为,ASML的崛起主要有三方面的原因。

一是,敢于做出尝试。

当时,台积电林本坚构想出了一种“浸润式光刻”方案,这一方案若能够成功,便能够解决光刻机光源波长迟迟无法越过193nm的业界难题。

为此,林本坚找了许多半导体巨头,希望能够合作,其中便有尼康。但是,尼康拒绝了他,毕竟在竞争的关键时刻,尼康不敢去尝试新方案,新方案一旦失败,便会让尼康错过太多的机会。

但尼康殊不知,被它拒绝的才是公司发展最大的机会。

最终,ASML选择与台积电合作,俗话说得好:光脚的不怕穿鞋的。ASML在这场赌局中大获成功,凭借着能实现134nm等效波长的光刻机,实现了对尼康的超越。

从此,ASML成了新的行业霸主。

二是,加入EUV LCC联盟。

这是ASML发展历史中,做出的最关键的决定之一。

彼时,美国集结的全球顶尖的科技力量,成立EUV LLC联盟来攻克极紫外光(EUV)光刻机技术。

彼时,美国本土光刻机公司在日本企业的打击之下,已经没有发展的希望。因此,美国希望能够扶持他国光刻机企业,而尼康等日本公司显然不是一个好的选择,美国可不想养虎为患。

而ASML则抓住了这次机会,做出了诸多许诺与让步,成功加入EUV LCC联盟,接触到了EUV光刻技术。

三是,强大的集结能力。

在EUV LCC同盟中,ASML掌握了EUV光刻技术。但是,想要做出EUV光刻机整机并不能靠一家企业的力量,而是需要全球供应商的共同努力。

毕竟,一台EUV光刻机的零部件将近十万件,这可不是一个小数字。

ASML强大的集结能力,是其能够打造出EUV光刻机的重要原因。目前,ASML在全球拥有5000多家供应商,可见其集结能力之强悍,令人敬佩。

写在最后

正是因为以上三大原因,ASML才实现了对日本光刻机巨头的反超,并且成为全球唯一能够制造EUV光刻机的厂商。

得益于EUV光刻机的重要性,ASML在全球半导体产业链中扮演着至关重要的角色。甚至可以说,它能够影响半导体制造行业的竞争格局。

譬如,手握更多EUV光刻机的台积电,便在芯片制造行业中占据半壁江山,地位难以撼动。而始终拿不到EUV光刻机的中芯国际,则迟迟无法迈入高端制造的行列。

也正因为此,中国想要自研光刻机,摆脱被卡脖子的困境。但是,自研光刻机哪里有那么容易,ASML CEO温·彼得便公开表示,中国不太可能独立复制出顶尖的光刻技术。

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