3D光学轮廓仪是一种双LED光源的非接触式光学仪器，对样品基本上没有损害，视样品选择不同测量模式，相移干涉模式(PSI)主要用于测量光滑表面粗糙度，垂直扫描干涉模式（VSI）则可以做高度、宽度、曲率半径，粗糙度的计测等。
3D光学轮廓仪是一款使用便利、性能卓越，性价比高的非接触无损伤三形貌维测量仪器，第九代系统采用独有的双LED照明光源ZL技术，能够更好地检测超光滑表面及非常粗糙的表面，它的测量范围可达亚纳米级粗糙度到毫米级的台阶高度。简单易用的操作方式、快速数据获取能力、强大的软件功能及一级的重现性等。同时，可选配的X-Y自动平台，使它具有程序化处理样品的功能。
该仪器使用FLCOS原理，可实现无需机械运动的快速共聚焦扫描。它具有高速、稳定和无限使用时间的特点。现有的其他品牌共聚焦显微镜都采用镜片振动扫描的方式，因为有机械振动会造成测量时抖动，使用时间也有限。
3D光学轮廓仪的特点：
1、栩栩如生的3D形貌呈现清晰的纳米世界
彩色共聚焦观察方式使用户能在视场内观察到纳米级的细节。
2、难以置信的3D扫描速度
一次完整的3D扫描时间还不到10秒。用扫描速度扫描低反射率的样品时，3D扫描时间将少于3秒。
3、高质量的物镜，好的成像质量
水平分辨率和纵向分辨率要比激光共聚焦显微镜更，达到了光学显微镜系统的极限。
4、多波长的LED光源
有4个独立的LED光源红色、绿色、蓝色和白色，可以满足各种应用的需要。
5、惊艳的图片质量
采用1360×1024的高分辨率CCD，显示分辨率达2560×1440像素。图像锐利、生动、无延迟。
6、顺序照明的彩色图像
在扫描时红、绿、蓝三色LED交替照明，并将三张彩色的图片还原成一幅高分辨率的彩色图像。相比其他品牌采用像素插值算法，它获得的图片色彩保真度和还原性要更胜一筹。
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