纳米压痕仪能通过实时记录力和对应位移深度的曲线来测量纳米或微米级薄膜材料力学性能。该仪器不仅提供纳米压痕功能，同时也提供纳米划痕功能和台阶仪功能，即不仅可以满足薄膜硬度、弹性模量等性能的测量，还可实现薄膜与基体之间的结合力和定量表面形貌的测量。
纳米压痕仪具有很高的性能、灵活性、可信度、实用性和速度。拥有高速闭环控制，噪音控制，集成的带输入/输出信号的多参数控制，五百倍于前代产品的力学测试速度。充分优化各个传感器的特质适用不同测量需要。原位扫描探针显微镜成像，动态表面搜索，全自动系统校准和创新的测试程序。表征各种材料的普适性方法，从较软的聚合物到硬质镀层都能适用。可实现氧化和还原环境下的原位定量纳米力学和纳米摩擦学行为研究。
该纳米压痕仪设计用于在高达800°C的温度下进行测试，基于安东帕在纳米压痕测试方面的长期经验，核心是基于非常成功的超纳米压痕试验机。
测量头已针对高温操作进行了优化，并结合了正在申请专利的样品台，可以在工作范围内的任何温度下进行测量，并具有很高的热稳定性。可以用来做以下这些研究：
1、工程材料在不同温度下的蠕变性能；
2、温度对低于和高于其玻璃化转变温度（Tg）的聚合物的影响；
3、高温下的硬度和弹性模量；
4、氧化的影响，特别是在金属中；
5、位错成核，在非常浅的压痕深度探测；
6、在高温下在压头下的离散事件，例如，晶体中的弹性 -塑性过渡，金属玻璃中的剪切带形成，陶瓷中的氧化开始；
7、要在高温下使用的涂层的机械性能，以及可以添加以优化强度和断裂韧性（例如过渡金属或硅）的候选元素的效果；
8、在高温下进行微柱压缩试验，以产生压缩屈服或失效应力，并观察变形机理变化，例如屈曲，断裂或塑性变形。
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