苏州电子芯片洁净车间装修工程二次配工程

苏州电子芯片洁净车间装修工程二次配工程

通过对芯片生产工艺的熟悉和掌握， 使我们对工艺的理解更加深刻， 从而使我们对工艺设备的特殊要求也有了深入的理解。 但是， 对于有效实施二次配工程尚需对工艺设备的需求条件清楚且深刻理解和掌握，对于工艺设备的接入条件以及界面接口形式熟悉和掌握， 这样， 才能在保证工程质量和安全的条件下， 高效、 快速的完成二次配工程。
下面我们就以上工艺设备的工艺需求条件进行仔细分析， 对于接入接口形式进行图解， 以利于同类二次配工程的有效实施。
2 掌握芯片生产工艺设备的需求条件以及二次配详解
对于工艺设备需求条件的理解和掌握， 对于有效实施二次配工程起着非常重要的作用， 不但可以为材料的供给提供帮助， 而且对于施工方案的优化以及施工进度的提高有着促进作用。

2.1 芯片清洗设备的需求条件以及二次配详解
动力需求内容以及管线材质要求：
DI—PVDF/PPH/PFA（去离子水）
PCW—SUS304AP（冷却循环水）
CDA—SUS304BA（压缩空气）
GN2—SUS31 6BA（洁净氮气）
WS—SCH-80 UPVC
特气—SUS31 6EP
化学品—CLPVC/PFA 双层
AES/ALE—SCH-80 UPVC
电源—3P/380V/1 52A/5 线
此设备连接的管线比较多， 且连接接口多样， 因此注意以下两点：
1 ） 管道与设备之间的转换接头应及时进行订货， 否则会影响二次配管工程的进度。
2） 由于其管线繁多， 空间管理非常重要， 因此提前必须进行空间布局的优化设计。
2.2 氧化退火设备的需求条件以及二次配详解动力需求内容以及管线材质要求：
PCW—SUS304AP
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
GO2—SUS31 6BA H2—SUS31 6BA
特气—SUS31 6EP
HES—SUS304AP
电源—3P/380V/295A/5 线
此设备连接特气管线比较多， 且接口形式多样， 因此注意以下两点：
1 ） 各种接头应及时备货， 以便快速进行二次配管。
2） 由于其管线繁多， 空间管理非常重要， 因此提前必须进行空间布局的优化设计。
2.3 淀积设备的需求条件以及二次配详解
动力需求内容以及管线材质要求：
PCW—SUS304AP
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
GO2—SUS31 6BA
H2—SUS31 6BA
GV—SUS304BA
GF—SUS304BA
特气—SUS31 6EP
HES—SUS304AP
F1 —SCH-80UPVC
电源—3P/380V/295A/5 线
淀积系统工艺设备二次配特殊配件包括： ISO 法兰组件、 ISO 法兰密封圈、 ISO 法兰、 ISO 接口波纹软接、 KF 卡箍。
此设备内部连接管路复杂， 且特殊配件多， 因此注意以下两点：
1 ） 内部配管的方案应提前进行策划， 且空间管理应考虑可拆卸性以及安全性。
2） 特殊配件需提前制定采购方案， 确保二次配工程的顺利进行。

2.4 光刻设备的需求条件以及二次配详解
动力需求内容以及管线材质要求：
曝光机需求内容：
PCW—SUS304AP
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
Ar—SUS31 6BA
PV—SUS304
特气—SUS31 6EP
HES—SUS304AP
F1 —SCH-80UPVC
电源—3P/380V/55A/5 线
涂胶显影需求内容：
PCW—SUS304AP
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
Ar—SUS31 6BA
PV—SUS304
DI—PVDF/PP-H/PFA
特气—SUS31 6EP
HES—SUS304AP
F1 —SCH-80UPVC
电源—3P/380V/90A/5 线
光刻机需求内容：
PCW—SUS304AP
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
PV—SUS304
WS—SCH-80UPVC
特气—SUS31 6EP
HES—SUS304AP
F1 —SCH-80UPVC
电源—3P/380V/90A/5 线
线宽测试仪需求内容：
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
PV—SUS304
F1 —SCH-80UPVC
电源—3P/380V/35A/5 线
此处设备内部连接管路复杂， 设计工作层以及下夹层内部设备的连接， 且管线比较多， 因此注意以下两点：
1 ） 供气阀组的布局应合理且满足使用要求。
2） 内部连接的管路应提前做好施工方案， 有利于空间布局合理。
2.5 刻蚀设备的需求条件以及二次配详解刻蚀设备需求内容：
PCW—SUS304AP
CDA—SUS304BA
GN2—SUS31 6BA
GO2—SUS31 6BA
PV—SUS304
GV—SUS304BA
GF—SUS304BA
DI—PVDF/HH-P/PFA
特气—SUS31 6EP
WS—SCH-80UPVC
CW—SUS304
HES—SUS304AP
F1 —SCH-80UPVC
电源—3P/380V/200A/5 线
PCW—SUS304AP
此处设备主要涉及工艺循环冷却水和工艺真空管路比较多， PCW 管路共计 36 组， 工艺真空设及 1 7台， 连接管路复杂， 设计工作层以及下夹层内部设备的连接， 且管线比较多。 因此注意以下两点：
1 ） 因为真空泵部分放在夹层， 配管难度增加， 故需对空间布局提前进行合理安排。
2） PCW 管路特别多， 因此采用软管进行连接， 可以有效提高施工进度。
3） 合理安排施工次序， 有效提高施工效率。
4）由于大部分管线在室内布置，因此二次配既要保证功能使用要求， 又要满足洁净车间使用要求。