莱伯泰科重磅发布三重四极杆质谱 深层次进军半导体行业

（原标题：莱伯泰科重磅发布三重四极杆质谱 深层次进军半导体行业）

北京莱伯泰科仪器股份有限公司（以下简称“莱伯泰科”）在高端科学仪器领域自主研发创新领域再获重大突破。3月10日，“致知力行 踵事增华--莱伯泰科半导体行业三重四极杆质谱新品发布会”在莱伯泰科北京总部隆重举行，重磅推出针对于半导体行业研发生产的LabMS 5000 ICP-MS/MS电感耦合等离子体质谱。来自集成电路材料产业技术创新联盟秘书长石瑛女士，第三代半导体产业技术创新战略联盟副理事长兼秘书长、中科院半导体所研究员杨富华先生，以及中国半导体行业协会副秘书长刘源超先生等多位嘉宾出席了本次发布会，共同见证了莱伯泰科的这一重要时刻。

图1发布会现场照片

莱伯泰科在电感耦合等离子体质谱技术领域拥有丰富的创新经验。从2019年启动单四极杆ICP-MS项目开始，莱伯泰科质谱研发团队在胡克博士的带领下，用时1年零9个月，便发布了首款单四极杆质谱产品，首次实现了国产ICP-MS在半导体行业芯片生产线的应用拓展。随后，莱伯泰科乘胜追击，又于2021年第四季度启动了三重四极杆质谱研发项目，仅一年多的时间，就完成了从立项、设计、功能机、试用机、商品机，并获取国际半导体产业协会SEMI S2认证的顺畅推进。本次质谱新品的发布，是继2021年发布单四极杆LabMS 3000之后，莱伯泰科致力于为半导体行业用户提供更加精准、高效的解决方案的最新成果。

图2 LabMS 5000电感耦合等离子体质谱新品

活动伊始，由莱伯泰科董事长胡克博士致开幕词。他表示，ICP-MS对他本人来说有着非同一般的意义，自从43年前导师Houk博士在美国分析化学杂志上发表了第一篇等离子体质谱论文，35年前他在一张白纸上画出了博士论文中的第一张ICP-MS草图，ICP-MS便成了胡克博士一生矢志不渝的追求与梦想。创办莱伯泰科后，做莱伯泰科品牌的ICP-MS一直是胡克博士的愿望和理想。今天，莱伯泰科能在两年内连续发布两款ICP-MS，除了感谢公司的质谱团队外，还要特别感谢半导体行业的多家企业，他们的支持、鼓励和期待，促进了莱伯泰科在三年多的时间内连续开发出单四极杆和三重四极杆两种等离子体质谱仪的决心和信心，感谢他们给予莱伯泰科的信任和认可。

胡克博士还表示，未来，除了半导体专用型号外，莱伯泰科还将针对更多的行业领域开发更多的通用或专用型号产品，同时在产品的多样性、好用、易用、耐用上下功夫，在售后和服务上下功夫，打造中国用户可以完全信赖的产品，希望未来莱伯泰科的质谱仪能够在市场中占据一席之地。

随后，莱伯泰科董事长胡克博士与第三代半导体产业技术创新战略联盟杨富华秘书长一同开启了激动人心的揭幕仪式，揭开了LabMS 5000的神秘面纱。

接下来，集成电路材料产业技术创新联盟秘书长石瑛秘书长、第三代半导体产业技术创新战略联盟杨富华秘书长和中国半导体行业协会副秘书长刘源超副秘书长分别进行了致辞。

石瑛秘书长表示，作为集成电路行业的老兵，她深知分析仪器对于集成电路材料的检测应用的重要性，其对半导体行业整体工艺的提升至关重要。此前，该领域被进口垄断，她非常欣慰看到像莱伯泰科这样的国产企业能够突出重围，突破高端科学仪器制造的卡脖子难题，同时她也祝愿莱伯泰科的质谱仪器能够在半导体市场取得良好的成绩。

杨富华秘书长表示，全球半导体检测设备市场呈现国外设备巨头垄断格局，本土企业市场份额较低，因为半导体材料行业对检测仪器的精度要求比较高，但同时，高要求也代表高端仪器未来的发展有很大的潜力。杨富华提到，四极杆质谱作为科学院重点发展的项目之一，其在第三代半导体材料检测方面发挥着重大作用，近些年他观察到国产的仪器技术进步非常大，因此我们更需要大力支持自己的科学仪器产业。

刘源超副秘书长在致辞中提到，当前全球主要的经济体都在大力发展半导体产业，并出台相关政策，比如韩国提出了半导体强国等口号，而作为拥有完整产业链的中国，更应该大力发展半导体产业。当前我国的缺芯问题比较严重，且我国在半导体行业高端制程方面是短板，也是需要重点发展的方向。刘源超表示，有像莱伯泰科这样的国产企业为我国半导体产业补短板作出的努力，相信我们的产业发展会更好。

最后，莱伯泰科质谱事业部高级应用经理王娟为与会嘉宾详细介绍了LabMS 5000 ICP-MS/MS的关键技术和核心性能。LabMS 5000搭载莱伯泰科成熟的前处理技术，按照行业的需求进行了定制化的设计，对于半导体行业对灵敏度要求极高的需求，LabMS 5000可胜任超痕量元素分析，并能确保分析结果更加准确可靠。

“致知力行 踵事增华”，是莱伯泰科不断前行的企业理念的总结。“致知”代表莱伯泰科不断深耕行业，不断学习、探索和创新的精神；“力行”代表莱伯泰科具备坚定的执行力和行动力，能够迅速响应客户需求，将产品推陈出新的能力；“踵事增华”则代表莱伯泰科愿意与客户共同成长、与行业共同进步，通过不断创新，为加速科学仪器的国产替代进程做出贡献。因此，今天莱伯泰科的新品发布会不仅是产品的展示和介绍，更是莱伯泰科与半导体行业专家和客户的共同探讨和思考。

莱伯泰科作为主要国产仪器厂商之一，在分析仪器领域已深耕20年，为客户持续提供兼具科学性与经济性的检测技术及解决方案，在广大客户的眼中，莱伯泰科早已成为他们值得信赖的合作伙伴。并且莱伯泰科始终坚守在推动我国科学仪器发展的前线，近些年其在质谱创新之路的进展加速着国产替代的进程，也以实际行动助力我国实现高水平科技自立自强。