神州半导体上会 国内头部等离子体电源供应商，自研收入三年增至16.7倍

（原标题：神州半导体上会 国内头部等离子体电源供应商，自研收入三年增至16.7倍）

营收三年复合增长58.31%，射频电源境内厂商第二，远程等离子体源境内厂商第一

上海证券交易所近日公告，将召开2026年58次发审会议，审议江苏神州半导体科技股份有限公司的科创板首发申请。公司拟发行不超过2,200万股，保荐机构国泰海通证券。

招股书显示，这是一家国内头部的等离子体电源系统供应商。这种自我描述放在任何一份招股书里都成立，看不出高低。放到行业数据里比一比，才有参照。

2025年，中国大陆半导体领域的等离子体射频电源系统市场，MKS、AE、DAIHEN、霍廷格四家外资合计占超过75%，其中MKS一家45.0%。境内厂商分到的是剩下的部分，恒运昌5.1%，神州半导体3.8%。另一个品类远程等离子体源系统，神州半导体在大陆市场占4.37%，在中国大陆企业里排第一。按弗若斯特沙利文统计，这两类产品的国产化率分别是13%和不足7%。

神州半导体的三年就长在这个落差里。营业收入从2023年的26,105.54万元做到2025年的65,424.00万元，复合增长率58.31%，2026年前三季度66,522.51万元，已超过2025年全年收入。

把招股书和问询回复里的信息归拢起来，能落地的优势有几处。

两个品类，一个第一一个第二

等离子体电源系统不是一个单一产品。它至少分成三类，用在不同的设备和工艺上。

射频电源系统用在刻蚀和薄膜沉积设备上，负责电离制程气体、调控等离子体。双频配置里，高频源电源管等离子体的密度和均匀性，低频偏置电源管离子能量和入射方向。两者配合，深孔才刻得直。

远程等离子体源系统用在腔室清洗、去胶和FCVD这些工艺上。FCVD是先进制程里填充高深宽比沟槽的一种技术，等离子体的激发装置就是远程等离子体源。

高压脉冲电源系统是这两年才起来的一类，主要面向超高深宽比刻蚀。

三个品类，神州半导体都做出了产品，其中两个进了量产。射频电源境内厂商第二，份额3.8%；远程等离子体源境内厂商第一，份额4.37%。

这个排名放在全球格局里看更清楚。MKS、AE、DAIHEN、霍廷格四家在全球占73%，在中国大陆半导体领域占超过75%。境内厂商整体份额加起来不到13%，第一名5.1%，第二名3.8%。

份额不大，但位置是实的。13%的国产化率意味着，剩下的87%还有替换空间。

客户名单里的四个国际名字

半导体核心零部件有个特点，要过两道认证。先是设备厂商，再是终端芯片产线。设备定型、产线验证通过之后，通常就不再换供应商。这道门槛把很多公司挡在外面。

神州半导体的自研产品批量进入了中微公司、拓荆科技、北方华创。

中微公司这一条最有分量。公司的APG、AVG系列射频电源，配套的是中微公司的超高深宽比刻蚀设备，是中微该设备平台的第一国产合格供应商。问询回复里有一句披露，国内仅两家企业具备与高深宽比刻蚀设备匹配的等离子体电源系统稳定供货能力。

这句话的分量在于，高深宽比刻蚀是先进存储芯片的关键工艺，能供货的公司只有两家。

技术支持服务这一侧的名单更长。客户A、台积电、英特尔、三星电子、SK海力士、美光科技、德州仪器、华润微，加上应用材料、中微公司、拓荆科技、北方华创这些设备厂商。

招股书说，公司是国内少数在该领域同时进入应用材料、英特尔、三星电子、SK海力士等国际头部厂商供应链的企业。四个名字并列，关键在那个同时。一家中国零部件公司同时在这四家的供应商体系里，这个组合在A股半导体公司里不多。

两个业务方向叠起来，公司的客户结构就是一头连着国内的设备龙头，一头连着国际的产线巨头。前者决定自研产品的放量节奏，后者提供了一条不随国内资本开支周期起伏的服务收入。

产品一茬接一茬

单看某一年的收入，容易误判这家公司。它的产品是一茬一茬接上来的。

2023年，远程等离子体源系统开始批量销售，当年自研产品收入2,117.65万元。2024年，射频电源完成设备及芯片产线验证，开始批量销售，当年等离子体射频电源系统收入10,028.27万元。2025年，射频电源进一步放量到26,788.01万元，远程等离子体源保持交付，高压脉冲电源系统开始贡献600万元收入。2026年上半年，高压脉冲电源系统做到4,631.26万元，远程等离子体源8,249.66万元。

累计销量能看出量产的真实程度。报告期内，公司向中微公司、拓荆科技、北方华创累计销售远程等离子体源系统分别超过300台、600台和近100台。

储备的产品也在往前走。高压脉冲电源系统2026年上半年导入中微公司超高深宽比低温刻蚀设备。ESC吸附电源、加热电源已通过装备厂商验证，2026年取得小批量订单。APD系列阻抗匹配器支持多频段、多输出通道，集成自动匹配、混频及按比例自动功分功能，按招股书的说法，公开资料中尚无同规格、同功能的境内外竞品。

客户这边也在往外扩。射频电源已向拓荆科技、客户C、菲沃泰、矩阵多元等送样，并推进屹唐股份的阻抗匹配器样机设计。

一个品类验证通过，收入起来，再拿下一代的品类去打下一个工艺。这个节奏走了三年，收入结构就变了。

毛利率和现金流对得上

自研产品销售占主营业务收入的比重，2023年是8.21%，2024年39.30%，2025年55.11%。同期技术支持服务从88.09%降到42.92%。

结构变了，毛利也跟着变。2025年自研产品毛利率71.37%，技术支持服务61.50%，差了近10个百分点。主营业务毛利率2023年到2025年分别是62.56%、66.94%、66.65%。

利润的绝对额在涨。扣非后归母净利润从2023年的5,639.27万元，到2024年13,359.95万元，2025年19,827.12万元，2026年前三季度21,416.54万元。2025年加权平均净资产收益率31.95%。

现金流能对上利润。2025年经营活动产生的现金流量净额22,926.66万元，当年净利润20,935.66万元，两个数字基本贴合。往前看，2024年经营活动现金流只有1,718.86万元，主要是当年存货采购规模高、部分销售尚未回款。2025年回款跟上来了。

研发的投入是这条产品线的成本前置。最近三年累计20,383.07万元，占三年累计营业收入的14.97%。截至2026年6月30日，公司拥有专利128项，其中境内发明专利72项，形成主营业务收入的发明专利71项，研发人员138人，占员工总数24.64%。

公司是国家高新技术企业、国家级专精特新重点小巨人企业，2024年和2025年连续获评江苏省潜在独角兽企业，获批建设江苏省等离子源工程技术研究中心。2025年1月，国家集成电路产业投资基金二期入股。

订单跑在收入前面

截至2026年10月14日，公司2026年当年新签订单约11.09亿元。2025年全年营业收入是6.54亿元，全年新签订单5.73亿元。订单已经比上一年的收入和订单都高。

拆开看，自研产品订单7.43亿元，技术支持服务订单3.66亿元，中微公司下达的自研产品订单4.97亿元。

订单要变成收入，得看下游设备的出货。这一步和行业周期绑在一起。

中国大陆半导体设备市场2025年销售额493亿美元，占全球约36%，2018年以来年复合增长率约21%。SEMI预测，2024年到2027年，中国大陆12英寸晶圆厂数量将从29座增至71座。

存量这一侧另有一块需求。美国、日本厂商的原厂技术支持服务团队逐渐撤出中国大陆市场，国内芯片产线要维持运行，就得有人接手维修和替换。招股书的表述是，产线面临难以获取海外原厂设备、零部件以及相应技术支持服务的双重困境。这块业务不依赖新厂开工，跟着存量产线的运转走。

需求端的另一股推力来自工艺。按LAM的研究，以128层NAND刻蚀所需射频功率为1.00倍计，192层提高到约1.27倍，300层约2.77倍。层数往上堆，功率就得往上走，电源的耐压、绝缘、电弧抑制、电磁兼容都要重新设计。后来者不是把老产品改改就能跟上。

政策口径也已经明确。2026年3月通过的"十五五"规划纲要提出，全链条推动集成电路等重点领域关键核心技术攻关取得决定性突破。2025年8月工信部、市场监管总局发布的《电子信息制造业2025－2026年稳增长行动方案》，明确提出坚定不移推动国货国用。

两处风险提示需要关注一二

招股书里的风险提示，有两处值得单独说。

一处是客户集中度。前五大客户收入占比从2023年的39.31%升到2026年上半年的73.53%。对中微公司的销售收入占主营业务收入的比例，2025年49.19%，2026年上半年38.89%。中微公司同时是股东，通过直接和间接方式合计持股3.2584%。

公司解释这是行业属性。零部件要通过设备厂商和芯片产线的双重认证，设备定型后不轻易更换供应商。可比公司恒运昌的披露也提到类似原因。这话有道理，但集中度就是集中度，中微公司的设备出货节奏会直接写到神州半导体的收入表上。

另一处是2023年的净利润。当年归属于母公司所有者的净利润为-2,157.60万元，原因是确认股份支付9,663.41万元。同期扣非后归母净利润5,639.27万元，为正。引用这家公司的业绩，扣非口径不能省，否则容易被读成另一个故事。

还有一处变化需要跟踪。2026年上半年主营业务毛利率62.56%，比2025年的66.65%低了4个百分点。公司没有回避这个数，主要系产品结构里面远程等离子体源系统产品占比上升所致。

三年把自研产品收入从2,117.65万元做到3.54亿元，射频电源和远程等离子体源分别做到境内第二和第一。这样的公司走到上会这一步，值得期待。