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超微半导体设备取得电子光学系统和带电粒子束装置专利,可避免样品上的主电子束发生诱导色散

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国家知识产权局信息显示,超微半导体设备(上海)有限公司取得一项名为“一种电子光学系统和带电粒子束装置”的专利,授权公告号CN224958672U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本实用新型公开了一种电子光学系统和带电粒子束装置,该电子光学系统包含:第一透镜,其用于调节主电子束到达样品的数值孔径,所述主电子束到达样品后产生信号电子束;可调节透镜组件,其位于第一透镜和物镜之间,其用于汇聚或扩展所述信号电子束,以调节信号电子束的传输路径;探测器组件,位于可调节透镜组件的上方,其用于采集信号电子束。其优点是:该电子光学系统将第一透镜、可调节透镜组件和探测器组件相结合,通过可调节透镜组件对信号电子束进行束流控制,无需额外设置维恩滤波器等结构,可避免样品上的主电子束发生诱导色散。

天眼查资料显示,超微半导体设备(上海)有限公司,成立于2024年,位于上海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本16000万人民币。通过天眼查大数据分析,超微半导体设备(上海)有限公司财产线索方面有商标信息8条,专利信息13条。

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本文源自:市场资讯

作者:情报员

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