国家知识产权局信息显示,威海奥牧智能科技有限公司申请一项名为“一种用于EUVL光刻胶的非对称梯度孔纤维过滤介质及方法”的专利,公开号CN123038574A,申请日期为2026年10月。
专利摘要显示,本发明公开了一种用于EUVL光刻胶的非对称梯度孔纤维过滤介质及方法,包括自上而下同轴套装的上纤维过滤组、上匀料盘、下匀料盘与下纤维过滤组构成的同步转动体;上纤维过滤组、下纤维过滤组均具有带三条切向导出口的圆柱形匀料体、若干首尾连接的单元盘与对位通孔上的杆状过滤体,下方位杆状过滤体的纤维密度大于上方位,构成由粗到细的非对称梯度孔与一级容污、二级精滤的两级串联过滤;上匀料盘、下匀料盘上沿圆周均布弧形透料口,并分别与上过滤壳体、下过滤壳体形成旋转流动出料腔与旋转流动进料腔,两腔经可拆卸管路连通;两级转动流通道同转速同切向方向,使光刻胶形成不间断的无滞留流通,兼顾亚10nm级截留精度、高通量与长容污寿命。
天眼查资料显示,威海奥牧智能科技有限公司,成立于2017年,位于威海市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,威海奥牧智能科技有限公司参与招投标项目2次,财产线索方面有商标信息4条,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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