北京
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来源：@经济观察报微博
#国内头部半导体晶圆制造厂##国内薄膜沉积设备厂订单大增# 【存储扩产带动薄膜沉积设备放量】 存储芯片正成为国内薄膜沉积设备厂商的主要订单来源，逻辑芯片采购相对有限。上半年微导纳米与拓荆科技营收均实现同比增长。随着3DNAND堆叠层数增加，CVD与ALD设备需求上升，部分海外设备交付周期拉长。国内厂商加快扩产并布局PVD设备以提升国产化率。据测算，2026年中国内地薄膜沉积设备市场规模约102亿美元。行业人士指出，多品类布局有助于缓解零部件供应紧张，但企业仍需聚焦自身优势。
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