北京
国家知识产权局信息显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司申请一项名为“一种用于IBE离子束刻蚀机的晶圆载台机构”的专利，公开号CN122968193A，申请日期为2026年9月。
专利摘要显示，本发明涉及IBE离子束刻蚀相关技术领域，具体为一种用于IBE离子束刻蚀机的晶圆载台机构，包括下防护外壳以及安装在其上方的上防护外壳，且下防护外壳的内部设置有传动轴，所述辅助冷却板的上方安装有扩流组件，所述晶圆承载板的上表面安装有防动组件，所述托板的上方安装有用于控制防动组件移动的调节组件。该用于IBE离子束刻蚀机的晶圆载台机构，通过液体暂存框和连通管的设置，使得液体暂存槽内的冷却液可通过连通管流入到对应的液体暂存框内，因此通过液体暂存框与液体暂存槽的配合使用，可增大冷却液的流动面积，从而提高了冷却液对辅助冷却板的冷却降温的效率，继而提高了对晶圆本体的冷却降温的效率和效果。
天眼查资料显示，苏州佑伦真空设备科技有限公司，成立于2016年，位于苏州市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本1250.6667万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州佑伦真空设备科技有限公司共对外投资了4家企业，参与招投标项目63次，财产线索方面有商标信息102条，专利信息263条，此外企业还拥有行政许可4个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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