国家知识产权局信息显示,上海稷以科技有限公司申请一项名为“晶圆装卸装置及半导体刻蚀设备”的专利,公开号CN122935208A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明提出了一种晶圆装卸装置及半导体刻蚀设备,该装置包括:顶针模块,包括顶针组件、驱动顶针组件升降的顶针气缸;及压环模块,包括压环组件、驱动压环组件升降的压环气缸;其中,在水平方向上,压环波纹管压环气缸与压环波纹管顶针气缸错位布置,且压环波纹管压环气缸偏离静电吸盘的中心轴线设置。本发明通过将压环气缸与顶针气缸水平错位布置,使压环波纹管获得更大的竖直安装空间以增加其原长,减小波纹管压缩回弹力,避免了顶针骤降或压环砸伤晶圆的风险。
天眼查资料显示,上海稷以科技有限公司,成立于2015年,位于上海市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本516.8316万人民币。通过天眼查大数据分析,上海稷以科技有限公司共对外投资了6家企业,参与招投标项目99次,财产线索方面有商标信息38条,专利信息191条,此外企业还拥有行政许可25个。
声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。
本文源自:市场资讯
作者:情报员
特别声明:以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布,本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.