北京
分享至
IT时代网10月9日消息，据媒体报道，俄罗斯130纳米分辨率步进式光刻机原型已完成研发并通过验收，制造成本约5.422亿卢布（约650万美元）。
此前，本站曾报道过俄罗斯完成130nm光刻设备样机，当时该项目由泽列诺格勒的ZNTC总负责，光刻系统本身由白俄罗斯的Planar公司开发，光源由Lassard研发，俄罗斯工业和贸易部为整个研发计划拨款约7000万美元。
最新披露的成本明细显示，支付给Planar的设备与零件制造费用、原型调试费用等累计超过10亿卢布，其中光刻机制造成本5.422亿卢布，两个激光器成本分别为4900万卢布和4600万卢布。
ZNTC在项目中负责装置整体开发、测试台和工艺台结构设计、物镜计算以及工艺建模和开发。对俄罗斯而言，此前其不具备这类光刻机的生产能力，本次完成验收属于新突破。
公开信息显示，全球能够生产此类光刻机的企业此前仅有荷兰ASML、日本佳能和尼康、中国上海微电子。
注：本文中包含AI辅助创作的内容。
编辑：林一舟
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
