国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“激光退火设备”的专利,公开号CN122872025A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本发明提供了一种激光退火设备。该激光退火设备包括真空腔室、侧承载台、激光发生器以及遮光机构。承载台、激光发生器以及遮光机构均设置于真空腔室内。遮光机构包括遮光组件和旋转组件。遮光组件位于承载台与激光发生器之间,且遮光组件的至少部分位于激光发生器的照射范围内。遮光组件固定在旋转组件上,旋转组带动遮光组件环绕旋转轴旋转,且遮光组件的旋转轴垂直于承载面。本发明通过遮光机构来遮挡基板边缘的异常区域,从而减少膜层碎屑的产生。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4714条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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