国家知识产权局信息显示,山东力冠微电子装备有限公司申请一项名为“一种基于刚玉复合结构的耐腐蚀加热器及其制作方法”的专利,公开号CN122856353A,申请日期为2026年5月。
专利摘要显示,本申请提供一种基于刚玉复合结构的耐腐蚀加热器及其制作方法,属于半导体及晶体生长设备技术领域,所述加热器包括刚玉材质的外壳和内筒、若干加热元件及至少三个热电偶;内筒内壁围成反应腔室,内筒外壁设有定位键,外壳内壁设有定位键槽,外壳通过定位键槽与定位键的配合镶嵌于内筒外部,二者之间形成环形间隙;加热元件沿轴向间隔安装于外壳内壁的隔热支架上并定位于环形间隙内;热电偶安装于内筒外壁的不同圆周位置上,用于采集内筒壁温;定位键与定位键槽之间的连接间隙中填充有高温粘结剂,固化后形成密封隔离腔;外壳外部包裹有绝热层。本发明通过刚玉双层隔离结构隔绝腐蚀性蒸汽,提高加热器寿命,同时保证温度均匀性,便于制造和维护。
天眼查资料显示,山东力冠微电子装备有限公司,成立于2013年,位于济南市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本1050万人民币。通过天眼查大数据分析,山东力冠微电子装备有限公司共对外投资了3家企业,参与招投标项目84次,财产线索方面有商标信息8条,专利信息87条,此外企业还拥有行政许可10个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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