北京
国家知识产权局信息显示，珠海宝丰堂半导体股份有限公司申请一项名为“一种多频等离子处理设备”的专利，公开号CN122868405A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本发明涉及一种多频等离子处理设备，涉及多频等离子处理技术领域。包括主体，所述主体内设置有工艺腔，所述主体两侧分别设置有入料滚轮与出料滚轮，所述工艺腔内安装有工作台，所述工作台内对称固定有两个移动座，所述工作台内转动安装有多个输送辊，所述移动座侧壁转动安装有驱动辊，所述工作台内设置有限位组件，本发明，通过设置的工作台、移动座、输送辊、驱动辊、限位组件和压紧组件，依托基板输送过程产生的摩擦动力，驱动吸盘产生均匀且柔和的吸附力，固定基板中心位置，对基板边缘形成可靠的下压限位，约束基板的中心翘曲与边缘位移，让基板整体保持平整的贴合状态，改善大尺寸基板在等离子热效应下的形变问题。
天眼查资料显示，珠海宝丰堂半导体股份有限公司，成立于2006年，位于珠海市，是一家以从事通用设备制造业为主的企业。企业注册资本4938万人民币。通过天眼查大数据分析，珠海宝丰堂半导体股份有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目59次，财产线索方面有商标信息8条，专利信息55条，此外企业还拥有行政许可32个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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