北京
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国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“用于区域选择性沉积的批量衬底处理”的专利，公开号CN122856133A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，本发明涉及一种用于在衬底表面的第一部分上选择性地形成材料的衬底批量处理系统和方法。该系统包括：第一沉积模块，其包括第一处理室，用于在衬底表面的第二部分上提供钝化层；转移装置，其配置用于在形成所述钝化层之后将衬底从第一处理室转移到第二处理室中；以及第二沉积模块，其包括第二处理室，用于在衬底表面的第一部分上沉积材料。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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