国家知识产权局信息显示,合肥维信诺科技有限公司申请一项名为“激光退火系统参数确定方法及装置、多晶硅激光退火方法”的专利,公开号CN122869064A,申请日期为2025年3月。
专利摘要显示,本申请提供了一种激光退火系统的参数确定方法及装置、多晶硅激光退火方法,该激光退火系统的参数确定方法通过确定激励气体的气体寿命;若激励气体的气体寿命大于预设阈值,则将准分子激光器的脉冲频率设置为第一脉冲频率;基于第一脉冲频率,确定准分子激光器的第一扫描间距;若激励气体的气体寿命小于或等于预设阈值,则将准分子激光器的脉冲频率设置为第二脉冲频率,第二脉冲频率小于第一脉冲频率;基于第二脉冲频率,确定准分子激光器的第二扫描间距,第二扫描间距大于第一扫描间距。本申请延长激励气体的使用寿命,避免增加退火制程,保证退火效率。
天眼查资料显示,合肥维信诺科技有限公司,成立于2018年,位于合肥市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2200000万人民币。通过天眼查大数据分析,合肥维信诺科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目999次,专利信息4699条,此外企业还拥有行政许可43个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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