国家知识产权局信息显示,深圳市新凯来工业机器有限公司申请一项名为“一种工艺腔室及半导体设备”的专利,公开号CN122833438A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本申请公开了工艺腔室及半导体设备,涉及半导体设备技术领域,工艺腔室包括腔体、盖板组件、第一衬套以及第二衬套;盖板组件设于腔体的顶部;第一衬套设于盖板组件的下侧并与盖板组件连接,第一衬套设有一个或者多个凸起;第二衬套设于腔体内,第二衬套设有与一个或者多个凸起适配的一个或者多个凹槽,使第一衬套与第二衬套之间形成相互嵌合的配合关系,相较于简单端面抵接,该配合关系能够增强第一衬套与第二衬套连接位置处的阻隔能力,能够改善相邻衬套连接位置的阻隔能力不足,导致反应气体和副产物容易扩散至盖板组件和腔体的问题,并能够解决盖板组件合盖时相邻衬套难以对准的问题。
天眼查资料显示,深圳市新凯来工业机器有限公司,成立于2022年,位于深圳市,是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本108140万人民币。通过天眼查大数据分析,深圳市新凯来工业机器有限公司共对外投资了4家企业,参与招投标项目20次,财产线索方面有商标信息23条,专利信息367条,此外企业还拥有行政许可15个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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