北京
国家知识产权局信息显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司取得一项名为“一种多腔体射频处理系统”的专利，授权公告号CN224817101U，申请日期为2025年9月。
专利摘要显示，本实用新型提供的多腔体射频处理系统，属于射频电源技术领域，解决了现有多腔体系统中存在的同步使用、同步加工、同功率等参数处理的难题。一种多腔体射频处理系统，所述系统包括：Q个功率源、功率分配器、匹配模块，以及N个腔体；其中，每个功率源的输出端与功率分配器的输入端一一对应连接；每个功率分配器包括N个输出端；所有功率分配器的第n个输出端连接第n个匹配模块的输入端，第n个匹配模块的输出端连接第n个腔体；其中，至少一个功率源为射频偏置功率源，其余功率源为射频功率源；Q、N均为大于1的整数，n取1到N。
天眼查资料显示，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司，成立于2013年，位于深圳市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本6770.1688万人民币。通过天眼查大数据分析，深圳市恒运昌真空技术股份有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目19次，财产线索方面有商标信息29条，专利信息375条，此外企业还拥有行政许可19个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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