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据投融湾获悉,近日,江苏福拉特半导体设备有限公司(下文简称:福拉特)成功完成新一轮融资。本轮融资的投资方为元禾璞华和云松投资。
福拉特创立于2019年3月,公司总部位于江苏省南京市栖霞区。福拉特的核心定位是国内半导体与泛半导体湿法制程高端装备一站式研发制造供应商,专注半导体、新型显示领域湿法清洗、刻蚀、去胶、边缘精密加工装备,同时配套药液在线检测系统、设备控制软件一体化开发,目标打破日韩厂商在湿法设备领域长期垄断,面向晶圆制造、Micro OLED、Micro LED、LCD/AMOLED面板产线提供整套湿法工艺装备解决方案。
创始人钟立华
福拉特的创始人是钟立华,东南大学电气工程及其自动化本科,厦门大学企业管理硕士。钟立华曾在南京一家合资液晶显示企业任职,长期在面板产线从事湿法刻蚀、清洗、去胶相关设备技术、产线管理工作。2011年,钟立华在昆山创立福拉特前身企业。2019年,创立福拉特,持续攻坚单片清洗、掩模版清洗等高端装备。
两大类主机设备
福拉特的核心产品主要包括:单片湿法设备,也就是Single清洗机,还有单片去胶、单片刻蚀设备;槽式湿法设备,槽式清洗、刻蚀、去胶设备,还有标志性产品Micro-OLED掩模版MASK清洗机;药液浓度在线检测系统。
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那湿法设备在芯片和显示屏生产里到底起到什么作用呢?很多人不知道,一块晶圆或者显示玻璃基板,在光刻、镀膜之后,表面会留下胶层、微小尘埃、金属残留杂质,而这些杂质肉眼完全看不见,但只要存在一点点,就会造成芯片或者屏幕直接报废。所以湿法设备就是用化学药水、超纯水,配合兆声波、二流体清洗、真空干燥等手段,精准把脏东西洗掉,同时不能损伤晶圆和基板上已经做好的精细电路结构。
三大核心技术
福拉特拥有三大核心技术,其中,精密流体与药液控制技术,精准控制药液喷洒压力、流量、温度,保证清洗均匀,同时不损伤纳米级精细线路。微损伤清洗工艺,搭配兆声波、二流体清洗,在洗掉微小污染物的同时,控制基板崩边、划伤。软硬件一体化,机械硬件、运动控制、视觉检测、药液监测软件全部自研,整套设备可以打包交付,不是单独卖一台机器,而是提供湿法产线整套方案。
国产替代空间巨大
湿法清洗设备是半导体制造环节中用量最大的工艺设备,在晶圆制造全部设备投资中占比很高。然而,全球半导体湿法设备市场长期由海外企业占据主导,国内正在快速推进国产替代。据预测,全球半导体湿法设备市场规模持续增长,国内晶圆厂、新型显示产线持续扩产,带来大量设备采购需求。
作为国内湿法制程装备赛道具备较强竞争力的专精特新企业,福拉特长期专注半导体、新型显示湿法工艺装备,同时覆盖半导体和新型显示两大应用场景,在Micro OLED掩膜清洗这个细分领域形成差异化竞争力,未来有望成为行业龙头企业。
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