北京
国家知识产权局信息显示，上海图双精密装备有限公司申请一项名为“一种消除边界效应的晶圆高精度寻边方法和设备”的专利，公开号CN122825769A，申请日期为2026年8月。
专利摘要显示，本申请提供了一种晶圆寻边方法、电子设备及存储介质。该方法包括：采集晶圆旋转360°边缘的极坐标数据；基于该数据得到扩展序列，基于扩展序列得到闭环滤波序列；对闭环滤波序列所对应的边缘点执行随机抽样粗拟合，剔除异常点后得到内点集合；以随机抽样粗拟合得到的圆心和半径作为初值对内点集合执行非线性最小二乘精调，得到晶圆的偏心坐标和拟合半径；基于偏心坐标和拟合半径计算各边缘点到圆心的距离残差得到残差序列，基于残差序列得到平滑残差序列；根据晶圆边缘特征类型对平滑残差序列执行角度提取，通过跨0°/360°连续的映射运算得到晶圆边缘特征的角度。本申请消除了0°/360°边界断层，提高了晶圆圆心和特征角度的测量精度。
天眼查资料显示，上海图双精密装备有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事水利管理业为主的企业。企业注册资本2281.86万人民币。通过天眼查大数据分析，上海图双精密装备有限公司共对外投资了2家企业，参与招投标项目34次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息121条，此外企业还拥有行政许可11个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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