北京
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国家知识产权局信息显示，FEI公司申请一项名为“包括多极元件和减速元件的聚焦离子束系统”的专利，公开号CN122826663A，申请日期为2025年12月。
专利摘要显示，描述了包括多极光学器件的带电粒子显微镜系统。离子光学柱可包括像差校正系统。所述像差校正系统可设置在轴上并且可包括多极聚光器。所述多极聚光器可包括一个或多个聚光器四极生成元件。所述像差校正系统也可包括多极物镜。所述多极物镜可包括多个物镜多极元件。所述离子光学柱可包括设置在所述轴上的物镜组件。所述离子光学柱还可包括减速元件。所述减速元件可设置在所述轴上，位于所述像差校正系统的至少一部分与所述带电粒子光学柱外部的样品位置之间。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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