北京
分享至
国家知识产权局信息显示，ASM IP私人控股有限公司申请一项名为“半导体制造工艺期间确定何时触发中止过程的系统和方法”的专利，公开号CN122803627A，申请日期为2026年3月。
专利摘要显示，公开了用于确定在半导体制造工艺期间何时触发中止过程的方法和系统。示例性方法包括在一时间段期间测量加热灯的多个电阻，对测量的多个电阻中的先前电阻与测量的多个电阻中的当前电阻进行N次连续比较，以确定先前电阻和当前电阻的每次比较之间的差是否超过阈值，基于先前电阻和当前电阻的N次连续比较中的每一者之间的差超过阈值而触发中止过程，并且基于触发中止过程而生成一个或多个指令以暂停半导体制造工艺。示例性系统可以执行确定何时触发中止过程的方法。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
