国家知识产权局信息显示,江苏三米科思半导体设备有限公司申请一项名为“半导体设备的两阶段高精度恒温控制方法及其控制系统”的专利,公开号CN122795126A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本发明公开了一种半导体设备的两阶段高精度恒温控制方法,第一阶段控制:引导环境空气流经内部通有厂务冷却水的换热器,获取冷却后空气的第一温度,以动态设定值为目标,至少基于第一温度,通过调节厂务冷却水的流量,将冷却后空气的温度控制至动态设定值;动态设定值被确定为工艺腔室的目标温度与预设正温差之差。第二阶段控制:引导来自换热器的空气流经电加热器,获取加热后送入工艺腔室的空气的第二温度,以工艺腔室的目标温度为目标,至少基于第二温度,通过调节电加热器的功率,将加热后空气的温度控制至目标温度。解决了环境温度骤变时因加热响应滞后导致的温度失调问题,具有响应速度快、控制精度高、系统结构简化的优点。
天眼查资料显示,江苏三米科思半导体设备有限公司,成立于2020年,位于常州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏三米科思半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息2条,专利信息25条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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