北京
国家知识产权局信息显示，江苏三米科思半导体设备有限公司申请一项名为“半导体设备的两阶段高精度恒温控制方法及其控制系统”的专利，公开号CN122795126A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种半导体设备的两阶段高精度恒温控制方法，第一阶段控制：引导环境空气流经内部通有厂务冷却水的换热器，获取冷却后空气的第一温度，以动态设定值为目标，至少基于第一温度，通过调节厂务冷却水的流量，将冷却后空气的温度控制至动态设定值；动态设定值被确定为工艺腔室的目标温度与预设正温差之差。第二阶段控制：引导来自换热器的空气流经电加热器，获取加热后送入工艺腔室的空气的第二温度，以工艺腔室的目标温度为目标，至少基于第二温度，通过调节电加热器的功率，将加热后空气的温度控制至目标温度。解决了环境温度骤变时因加热响应滞后导致的温度失调问题，具有响应速度快、控制精度高、系统结构简化的优点。
天眼查资料显示，江苏三米科思半导体设备有限公司，成立于2020年，位于常州市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本5000万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏三米科思半导体设备有限公司财产线索方面有商标信息2条，专利信息25条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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