北京
国家知识产权局信息显示，苏州大族芯科技有限公司取得一项名为“一种适用于微翘曲晶圆的真空冷盘”的专利，授权公告号CN224791076U，申请日期为2025年10月。
专利摘要显示，本实用新型公开了一种适用于微翘曲晶圆的真空冷盘，包括真空冷盘组件，所述真空冷盘组件包括真空冷盘主体，所述真空冷盘主体上表面从内到外依次开设有第一真空槽、第二真空槽和第三真空槽，所述真空冷盘主体分别开设有与第一真空槽、第二真空槽和第三真空槽连通的第一气管、第二气管和第三气管，所述真空冷盘主体位于第一气管、第二气管和第三气管处分别安装有第一气管接头、第二气管接头和第三气管接头；所述真空冷盘主体底部开设有水道。本实用新型，真空冷盘装置能实现晶圆的均匀吸附，提高微翘曲的晶圆冷却时，由于与盘面接触不均导致的工艺效果不佳，通过不同几圈大小不同的真空口，以适应不同尺寸的晶圆。
天眼查资料显示，苏州大族芯科技有限公司，成立于2023年，位于苏州市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本3000万人民币。通过天眼查大数据分析，苏州大族芯科技有限公司参与招投标项目3次，专利信息12条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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