北京
国家知识产权局信息显示，华海清科股份有限公司申请一项名为“一种控制清洗刷姿态的晶圆清洗装置”的专利，公开号CN122766286A，申请日期为2021年12月。
专利摘要显示，本发明公开了一种控制清洗刷姿态的晶圆清洗装置，包括：晶圆旋转组件，用于支撑晶圆并驱动晶圆旋转；两个清洗刷，设置于晶圆的两侧并绕自身轴线滚动以对晶圆表面进行刷洗；清洗刷运动机构，用于带动所述两个清洗刷相向移动并以一定夹角夹持晶圆进行刷洗；控制器，用于控制所述清洗刷运动机构调整所述两个清洗刷之间的夹角，使得清洗刷与晶圆旋转方向相同的一端对晶圆的夹紧力大于清洗刷与晶圆旋转方向相反的一端对晶圆的夹紧力。
天眼查资料显示，华海清科股份有限公司，成立于2013年，位于天津市，是一家以从事专用设备制造业为主的企业。企业注册资本35365.1991万人民币。通过天眼查大数据分析，华海清科股份有限公司共对外投资了12家企业，参与招投标项目309次，财产线索方面有商标信息67条，专利信息859条，此外企业还拥有行政许可38个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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