国家知识产权局信息显示,浙江创芯集成电路有限公司申请一项名为“改善FIB中截面结构SEM图像质量的方法”的专利,公开号CN122689854A,申请日期为2026年7月。
专利摘要显示,本公开提供一种改善FIB中截面结构SEM图像质量的方法,包括:定位目标结构在原始样品中的位置;利用聚焦离子束对原始样品进行切割,以获得包裹目标结构的薄片;薄片具有相邻的第一侧面和第二侧面,第二侧面为初始SEM扫描面;将薄片固定于载网的支撑壁上,且薄片的第一侧面与支撑壁接触;调整载网角度,或者,调整FIB机台的倾斜角度,以使得薄片的第二侧面与聚焦离子束的入射方向平行;利用聚焦离子束切削第二侧面,直至露出目标结构的截面;调整载网角度,或SEM电子束的入射角度,使得截面与SEM电子束的入射角度垂直;利用SEM成像,获取截面中目标结构的图像。采用上述技术方案,能够提高FIB中截面结构SEM图像质量。
天眼查资料显示,浙江创芯集成电路有限公司,成立于2020年,位于杭州市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本214766.6666万人民币。通过天眼查大数据分析,浙江创芯集成电路有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目294次,财产线索方面有商标信息21条,专利信息695条,此外企业还拥有行政许可7个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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