北京
国家知识产权局信息显示，上海光通信有限公司申请一项名为“晶圆翘曲的调整方法及半导体结构”的专利，公开号CN122679834A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，本申请实施例提供一种晶圆翘曲的调整方法及半导体结构。该方法包括：提供晶圆，晶圆具有沿第一方向的第一翘曲变形，晶圆包括沿厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，第一表面用于形成器件结构；形成第一应力调整层，第一应力调整层覆盖第二表面；对第一应力调整层进行第一图案化，暴露部分第二表面，剩余第一应力调整层降低第一翘曲变形；形成填充层，填充层至少覆盖暴露的第二表面。该方法可实现对晶圆应力的定向调整，使得晶圆平整，提高后续工艺的均匀性，提高良率，并且不会对晶圆产生损耗。
天眼查资料显示，上海光通信有限公司，成立于1988年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2038786.497万人民币。通过天眼查大数据分析，上海光通信有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目59次，财产线索方面有商标信息12条，专利信息118条，此外企业还拥有行政许可183个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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