上海
SEM制样方法简介
我们之前有介绍过一些SEM的应用实例（感兴趣的小伙伴可以翻翻往期）。那么那些SEM的照片是如何拍出来的，我的样品能不能做SEM，或者怎么处理能够满足SEM的测试要求？
我们今天来围绕着SEM的测试要求，针对常规材料类样品，介绍几种常见的SEM制样方法。
01 SEM上机测试的条件
首选我们会用导电胶把样品固定在样品台子上（如下图）待测试的面朝上，台子的大小有限，因此测试的样品尽量在不要超过1-2cm为好。然后样品台会进入到样品仓，进行抽真空，但真空度达到要求后就可进行SEM测试了。
上机测试
总结起来很简单：1.小样尺寸样品（不宜超过1-2cm）。2.观察面需要正对上方。3.需要在高真空的条件下测试。
02 常用的SEM样品处理办法
首先，所提供的待测样品都必须是小尺寸（不宜大于1-2cm）或者容易分割为小块的样品，因为本身SEM就是做微区观察的。
一、烘干
适用样品：液体，膏状物等含有可挥发性物质的。
处理办法：在一定温度下，将样品烘干，去除可挥发物质之后上机测试。
原因：因为样品测试需要高真空，带可挥发物会损害仪器，是SEM测试的禁忌。
二、喷金
适用样品：高分子材料，有机类物质，或导电性差的物质。
处理办法：将样品固定在样品台之后，用喷金试剂在样品表面喷涂一层薄薄的一层，然后再进行测试。
说明：SEM在测试需要样品有一定的导电性，这样测试效果才会好，用喷金试剂在表面喷涂，是用于提高样品的导电性，可以拍到更好的形貌图片。
三、脆断
适用样品：高分子材料或者常温下有弹性，但是低温下硬脆的样品。并且需要进行断面观察的样品
处理办法：使用液氮将样品冷冻，然后使用工具折断样品或者敲击样品，
让样品断裂，取样品，使得断裂面朝上，固定在样品台上机测试。 说明：对于一些需要观察断面样品，但是在常温下又不好进行处理，直接使用刀具等会污染断面，或者样品弹性很好，直接切容易导致混淆等，这样处理过后可以得到比较干净的截面信息。
四、冷冻切片
适用样品：硬度不大的（如塑料，橡胶等），需要进行截面观察的样品
处理办法：使用冷冻切片机，对样品进行冷冻切片处理，处理后能得到微米左右厚度的薄片，切片方向可以进行选择，然后将切下的薄片上机测试。
原理：用使用有一定间隙的刀，在冷冻后的样品上切下薄片。
说明：与脆断的处理办法有些类似，不同之处在于切片能得到截面是平整的，拍摄效果好很多，并且能对指定位置进行处理，而脆断的随机性更大并且不容易得到好的截面。但是这个方法需要专门的切片仪器。但是对与硬度大的刚体无法制样。
五、FIB制样
适用样品：硬度很大的刚体，如金属材料等，观察面不在表面在内部的样品。
处理办法：确认好需要测试的样品面以及位置，将样品放置于FIB制样台上，在显微镜下，通过聚焦离子束，在刚体表面切割，或者打磨，得到所需的薄片或样面，然后取下处理好的样品上机测试。
原理：用离子束代替刀片，可以达到精确控制，对坚硬物质的切割。
说明：方法与冷冻切片类似，不同的是因为使用了离子束，可以对刚体，如金属，宝石等高硬度的样品进行切割，露出所需要观察的样品面。
以上仅是一些常用方法的介绍，实际上只要能满足进样的条件，制备方法是多种多样的。
本次仅仅是针对常规材料类的样品的制样方法的简单介绍，其实很多方法适用性是很广的，例如冷冻切片可以应用于生物材料，但是又有固定，染色的制样要求在里面，而FIB是TEM的常规制样方式。
如果有相关的SEM需求而又不清楚自己的样品能不能测，或者怎么测试更好，欢迎来电咨询，我们将根据您的要求，提供个性化制样测试服务。
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