在全球芯片制造设备领域,EUV 光刻机是绕不开的硬核设备。
放眼全世界,能够造出 EUV 光刻机的企业仅有 ASML 一家,尼康、佳能都拿不出同类产品。
想要做 7nm 以下先进工艺芯片,EUV 属于刚需设备,就算是存储芯片大厂,三星、SK 海力士、美光也开始引入 EUV,用来提升生产效率,并不只局限于逻辑芯片制造。
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截至 2025 年底,ASML 的 EUV 光刻机累计出货已经突破 300 台。三百台这个数字看着不算多,但每一台都是天价,那这些设备究竟被哪些厂商买走,谁又是 ASML 的头号大客户?
从统计数据能够看得很清楚,台积电是绝对的最大买家,一共采购 157 台,占全部出货量一半以上。紧随其后的是三星 76 台,英特尔 35 台,SK 海力士 29 台,美光 5 台,日本 Rapidus 拿到 1 台。
梳理一遍就能发现,全部 EUV 设备,基本流向了中国台湾、韩国、美国的企业,日本仅有 1 台,中国大陆一台都拿不到。不是我们没有采购需求,而是外部管制,ASML 不允许对华出货 EUV 设备。
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就算已经卖出去这么多机器,ASML 手上依旧握着大把待交付订单。2025 年底,公司未交付订单总金额达到 388 亿欧元,其中 EUV 订单就占到 255 亿欧元,占比超六成。未来好几年,EUV 依旧是供不应求,ASML 完全不愁销路。
不光 EUV 处于垄断地位,高端浸润式 DUV 光刻机同样由 ASML 主导。尼康和佳能只能守住相对老旧的光刻机市场勉强维持经营。看设备出货数量,佳能出货量看着还可以,可营收差距巨大。道理很简单,佳能大多卖 i‑line、KrF 这类中低端机型,卖十台的收入和利润,都比不上 ASML 一台 EUV。
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不过垄断巨头 ASML,在中国市场的处境正在慢慢变差。EUV 完全不能对华销售,高端浸润式 DUV 也受到出口限制,能卖给国内的只剩下偏成熟工艺的设备。
而国内在成熟工艺设备上持续推进国产化替代,直接造成 ASML 来自中国市场的收入占比不断走低,到 2026 年会降到 20% 以内,后续还有继续下滑的可能性。
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ASML 心里也十分清楚自己最大的风险。一旦国内实现相关光刻机技术突破,未来实现对外供货,极有可能把设备价格大幅拉低,ASML 现有的高利润时代就会被撼动。
浸润式 DUV 距离落地更近,而 EUV 的研发依旧要耗费漫长时间,但这是一条长期要走的路。ASML 自己也多次提到,对中国实施设备限制,反而会倒逼我们自主攻关,技术突破只是时间问题,这也是这家巨头心中最大的顾虑。
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