北京
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国家知识产权局信息显示，启迪原子私人有限公司申请一项名为“用于从单个发生器向半导体工艺系统的分布式等离子体源传输脉冲射频功率的系统和方法”的专利，公开号CN122619678A，申请日期为2026年2月。
专利摘要显示，本发明公开了一种用于从单个发生器向半导体工艺系统的分布式等离子体源传输脉冲射频功率的系统和方法。单刀多掷（SPMT）开关通过实时动态控制，将单个脉冲或脉冲组选择性地路由至指定的等离子体源。每个脉冲可独立配置特定的RF功率、频率和持续时间，从而能够向变压器耦合等离子体（TCP）源的中心线圈和多个边缘线圈等部件进行精确且灵活的功率分配。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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