北京
国家知识产权局信息显示，湖南普照信息材料有限公司申请一项名为“一种基于区域流量补偿的大尺寸基板镀膜均匀性控制方法”的专利，公开号CN122610052A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本申请涉及基板镀膜的技术领域，公开一种基于区域流量补偿的大尺寸基板镀膜均匀性控制方法，包括：通过主管向工艺腔室通入基础工艺气体，构建基础均匀气氛场并获取基准工作气压；镀膜时在线获取基板表面各供气区段对应位置的沉积速率分布检测数据，计算各供气区段的沉积速率偏差量；构建当前区域流量‑沉积速率响应系数矩阵，建立补偿方程组并同步求解，得到目标补偿流量增量；根据目标补偿流量值对各供气区段进行流量调节，同时对主管气的基础供给流量或腔室排气流导进行反向动态补偿，使腔室总压维持在基准工作气压的允许波动范围内；重复上述，在当前批次镀膜中持续闭环迭代，直至基板表面的沉积速率分布满足预设均匀性要求。
天眼查资料显示，湖南普照信息材料有限公司，成立于2003年，位于长沙市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本99278.6058万人民币。通过天眼查大数据分析，湖南普照信息材料有限公司参与招投标项目673次，财产线索方面有商标信息6条，专利信息87条，此外企业还拥有行政许可62个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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