北京
分享至
国家知识产权局信息显示，科磊股份有限公司申请一项名为“使用多电子束进行高产量检查”的专利，公开号CN122603401A，申请日期为2025年2月。
专利摘要显示，引导可为电子束的远心带电粒子束通过孔隙阵列以将所述远心带电粒子束分成多个远心照明小束。所述远心照明小束通过成像透镜、在中间图像平面处的场透镜及转移透镜。在引导所述远心照明小束通过上扫描偏转器及下扫描偏转器且引导到载物台上的工件上时，使所述远心照明小束扫描。
声明：市场有风险，投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成，仅供参考，不构成个人投资建议。
本文源自：市场资讯
作者：情报员
特别声明：以上内容(如有图片或视频亦包括在内)为自媒体平台“网易号”用户上传并发布，本平台仅提供信息存储服务。
Notice: The content above (including the pictures and videos if any) is uploaded and posted by a user of NetEase Hao, which is a social media platform and only provides information storage services.
