北京
国家知识产权局信息显示，江苏晟驰微电子有限公司申请一项名为“一种固态变压器晶圆的低缺陷掺杂工艺”的专利，公开号CN122602788A，申请日期为2026年5月。
专利摘要显示，本发明公开了一种固态变压器晶圆的低缺陷掺杂工艺，涉及半导体器件制造技术领域，包括以下步骤：提供固态变压器晶圆，在固态变压器晶圆表面形成注入掩模，露出掺杂区域开口，在‑50℃‑0℃下，经开口进行第一离子注入，形成非晶层，在室温以上，经开口进行第二离子注入，向非晶层及其下方注入导电型掺杂剂，去除注入的掩模，在掺杂区表面形成碳牺牲层，覆盖非晶层，在惰性气体与含碳气体的混合气氛中进行激光退火，使非晶层再结晶并激活掺杂剂，去除碳牺牲层。本发明通过低温第一离子注入形成非晶层、室温以上第二离子注入进行掺杂，并在碳牺牲层与含碳气体协同作用下进行激光退火，固‑气双碳源抑制碳空位生成与迁移，获得低缺陷掺杂区。
天眼查资料显示，江苏晟驰微电子有限公司，成立于2017年，位于南通市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本8702.5万人民币。通过天眼查大数据分析，江苏晟驰微电子有限公司参与招投标项目1次，财产线索方面有商标信息2条，专利信息88条，此外企业还拥有行政许可31个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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