北京
国家知识产权局信息显示，上海车仪田科技有限公司申请一项名为“抗干涉的晶圆表面曲率测量方法和装置”的专利，公开号CN122590758A，申请日期为2026年7月。
专利摘要显示，本发明涉及半导体检测技术领域，提供一种抗干涉的晶圆表面曲率测量方法和装置，该方法包括：将线偏振光输入偏振分束位移模块，输出两束平行且间距固定的正交偏振光；将两束正交偏振光输入波前编码模块进行波前编码，输出编码后的两束第一光波；波前编码模块包括三次相位掩模版；将两束第一光波输入光学模组，输出放大光斑直径和间距后的两束第二光波，将两束第二光波照射到晶圆表面；获取由晶圆表面原路返回的反射光，根据反射光采集编码图像；将编码图像送入深度学习处理模块，获得重建的两个光斑的中心坐标；计算晶圆表面的曲率。用于有效抑制环境光、振动等外部干扰因素对测量结果的影响，实现高精度、高稳定性的晶圆曲率实时检测。
天眼查资料显示，上海车仪田科技有限公司，成立于2022年，位于上海市，是一家以从事其他制造业为主的企业。企业注册资本319.4745万人民币。通过天眼查大数据分析，上海车仪田科技有限公司共对外投资了3家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息130条，此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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