国家知识产权局信息显示,北京科翰龙半导体装备科技有限公司申请一项名为“一种基于三轴位移-旋转联动结构的晶圆磨削抛光装置”的专利,公开号CN122559875A,申请日期为2026年6月。
专利摘要显示,本发明涉及晶圆抛光技术领域,具体地说,涉及一种基于三轴位移‑旋转联动结构的晶圆磨削抛光装置,包括工作台以及承载结构,工作台靠右上角处设有上下料组件;上下料组件包括放置盒、若干挡板以及液压缸,放置盒内同轴转动连接有转环,转环与挡板通过若干连杆铰接;放置盒内底面设有若干撑块;放置盒内底面与转环之间设有若干第二传动结构;放置盒下方设有若干水管,形成下料、冲洗、上料的循环。本发明通过设置上下料组件,在下料的过程中,直接对晶圆进行限位冲洗,减小晶圆与下料单元的接触面,降低晶圆在下料时受到损伤的概率,提升磨削抛光效率。
天眼查资料显示,北京科翰龙半导体装备科技有限公司,成立于2021年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本1000万人民币。通过天眼查大数据分析,北京科翰龙半导体装备科技有限公司参与招投标项目18次,专利信息7条,此外企业还拥有行政许可3个。
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本文源自:市场资讯
作者:情报员
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