广东
国产仿生感光器件弯道超车
技术突破 | 首款国产12英寸感光器件在增芯实现量产，灵敏度提升10-60倍！
背景：智能手表、智能指环等可穿戴设备普及，让大众对心率、血压、血氧的连续监测需求持续走高，而这类生理监测功能均依靠光电传感器实现。
然而，传统光电传感器难以兼顾穿戴设备对微型化、低功耗和高灵敏度的要求，采集微弱光电容积脉搏波信号时还存在信噪比差、功耗偏高等问题。
若选用高性能感光器件，又面临其核心专利与制造工艺长期由海外厂商把控的困境，国内企业授权成本高昂、定制周期漫长，产品迭代受到极大制约。
增芯、印芯、中山学，三方携手！
在此背景下，增芯科技依托自有先进晶圆制造产线，与印芯半导体联合开展研发，并获中山大学教授团队技术支持，三方协同完成12英寸光感器件与ASIC电路的单片集成。
图1 a.搭载增芯新型光感器件的智能指环样机；b.PD-MOS 器件结构。
目前，该新型器件已成功在增芯产线上实现流片与试产，并且已应用到智能终端中。上图a.为搭载该新型感光器件的智能终端，可同时支持心率、血压、血氧、睡眠等多项生理指标的连续监测。
灵敏度提升10-60倍！增芯突破了什么？
为满足智能可穿戴设备、低功耗物联网等领域对核心感光器件“高灵敏度、低功耗、微型化”的迫切需求，三方团队聚焦弱光响应能力、噪声控制、功耗优化等核心技术瓶颈展开多轮技术研讨。经流片验证，该器件搭载超高增益设计，信号放大能力远超传统方案，灵敏度达到市面同类光敏二极管（PD）的10～60倍，噪声仅为传统器件的十分之一，核心感光面积仅为现有商用PD的六分之一。
图2 各种 PD 的性能对比
在心率信号采集对比实验中，该新型器件展现出显著的信噪比优势，尤其在低功耗可穿戴场景下，这一优势更为突出。目前，该器件量产良率已突破95%，满足消费级器件商用量产要求。
展望：
下一步，增芯科技将更加紧密地与传感器设计企业合作，围绕具身智能等需求，开发更多品类的高性能传感器，持续拓展增量市场。
增芯科技作为广东省实施“强芯工程”以来新设立的重要制造主体，聚焦智能传感器与车规芯片领域，建设了中国首条12英寸MEMS智能传感器及特色工艺晶圆制造产线，已实现量产。现已构建涵盖MEMS传感器、e-NVM及BCD等工艺的多元代工平台，并通过“代工+COT”模式灵活服务市场。
公司秉持“诚信、创新、协作、透明、信任”的价值观，致力于为全球客户在汽车、工业、新能源和人工智能等多个领域的高质量晶圆供应持续赋能，成为全球值得信赖的高质量特色工艺晶圆制造领导者。
来源：增芯科技
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