北京
国家知识产权局信息显示，至微半导体（上海）有限公司取得一项名为“一种带清洗及吹扫功能的药液收集杯”的专利，授权公告号CN224632400U，申请日期为2025年7月。
专利摘要显示，本实用新型提供一种带清洗及吹扫功能的药液收集杯，涉及晶圆制造技术技术领域，包括：收集杯本体，收集杯本体的杯口安装有清洗及吹扫一体件，清洗及吹扫一体件的进气口和进水口分别连接进气管和进水管，清洗及吹扫一体件的出气口和出水口朝向收集杯本体的中心轴。有益效果通过将清洗层与吹扫层一体化集成于收集杯本体的杯口位置，使清洗水流与吹扫气流直接朝向收集杯中心轴喷射。该设计大幅缩短了清洗/吹扫组件与喷嘴的物理距离，在喷嘴归位后，可通过一体化的清洗及吹扫动作同步清除残留药液并干燥喷嘴表面，既避免了传统分体式结构的空间冗余，又显著提升了清洗效率和腔室环境洁净度。
天眼查资料显示，至微半导体（上海）有限公司，成立于2017年，位于上海市，是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本53144万人民币。通过天眼查大数据分析，至微半导体（上海）有限公司共对外投资了5家企业，参与招投标项目37次，财产线索方面有商标信息5条，专利信息321条，此外企业还拥有行政许可2个。
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本文源自：市场资讯
作者：情报员
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